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一种带防液滴喷溅隔板的热蒸发装置
成果类型：: 发明专利
发布时间: 2022-11-15 10:12:46
科技成果产业化落地方案
方案提交机构：天津市滨海新区| 郝建平 | 2022-11-15 16:09:35
一种带防液滴喷溅隔板的热蒸发装置，包括：蒸发材料；坩埚，所述坩埚容纳待加热的所述蒸发材料；喷管，所述喷管与坩埚的顶端端口相通；至少两个隔板，所述隔板为板状结构，且通过去除材料形成允许蒸汽通过的通孔；所述不同隔板沿竖直方向间隔放置在坩埚内壁，且位于蒸发材料上方，所述不同隔板的通孔在水平面的投影不发生重叠。在热蒸发镀膜工艺中，多个具有通孔的隔板可顺利通过蒸气，但由于每个隔板在水平方向的投影不重叠，因而阻挡大部分喷溅液滴，有效减少喷溅液滴到达镀膜表面，提高镀膜材料的厚度均匀性和化学组分一致性，提高镀膜工艺的良品率。
1.一种带防液滴喷溅隔板的热蒸发装置，其特征在于：包括：蒸发材料；坩埚，所述坩埚容纳待加热的所述蒸发材料；喷管，所述喷管与坩埚的顶端端口相通；至少两个隔板，所述隔板为板状结构，且通过去除材料形成允许蒸汽通过的通孔；不同所述隔板沿竖直方向间隔放置在坩埚内壁，且位于蒸发材料上方，所述不同隔板的通孔在水平面的投影不发生重叠。
2 .如权利要求1所述的装置，其特征在于：所述隔板的外壁与所述坩埚内壁紧密贴合接触且形状相同。
3 .如权利要求1所述的装置，其特征在于：所述不同隔板之间设置隔板间隔装置，所述隔板间隔装置为环状结构，且外壁与所述坩埚内壁紧密贴合接触且形状相同。
蒸发镀膜是真空物理气相沉积镀膜的技术之一。蒸发镀膜装备通常分为真空腔 体、真空获得系统、热蒸发系统、电控系统构成。热蒸发系统由蒸发容器(蒸发坩埚、蒸发舟 等），电阻丝加热器或其他加热装置，热屏蔽系统，加热温控系统构成。工艺过程为:蒸发原 料置于坩埚中，在真空环境中利用加热使镀膜原料发生固液气相变过程，蒸发原料被加热 至溶化后产生蒸发气体或以升华模式由固态直接产生蒸发气体，蒸发气体在真空腔体中沉 积在衬底表面形成薄膜材料。通过蒸发工艺可以形成单质薄膜，也可以通过化学反应形成 化合物薄膜。在生产实践中，根据热蒸发源的结构分为点蒸发源和线蒸发源等。
中国科学院深圳先进技术研究院提升了粤港地区及我国先进制造业和现代服务业的自主创新能力，推动我国自主知识产权新工业的建立，成为国际一流的工业研究院。 深圳先进院目前已初步构建了以科研为主的集科研、教育、产业、资本为一体的微型协同创新生态系统，由九个研究平台，国科大深圳先进技术学院，多个特色产业育成基地、多支产业发展基金、多个具有独立法人资质的新型专业科研机构等组成。开展先进技术研究，促进科技发展。信息、电子、通讯技术研究新材料、新能源技术研究高性能计算、自动化、精密机械研究生物医学与医疗仪器研究相关学历教育、博士后培养与学术交流。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是:在热蒸发镀膜工艺中，多层具有通孔 的隔板可顺利通过蒸气，但由于每个隔板在水平方向的投影不重叠，因而阻挡大部分喷溅 液滴，有效减少喷溅液滴到达镀膜表面，提高镀膜材料的厚度均匀性和化学组分一致性，提 高镀膜工艺的良品率。
技术合作
本实用新型的工作原理为:使用隔板时，将多个隔板组合放入蒸发坩埚的接近喷 管的区域，隔板的外壁与坩埚内壁贴合并紧密接触，坩埚中的材料被热蒸发形成蒸气，蒸发 材料内部的蒸气逸出时可能携带液滴，形成蒸气和液滴的混合物，蒸气可以沿着任何通道 流动，但液滴的质量较大，在短时间和较短路径中，重力和蒸气对液滴的运动轨迹影响有 限，大部分液滴倾向于沿着直线或准直线轨迹运动，隔板的未去除材料部分能够阻挡液滴 的直线路径，从而阻挡大部分液滴通过，而蒸气可沿着不同隔板的通孔之间的间隙通过。 尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以 理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换 和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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