科创中国
一种微电子机械传感器的被动光学反馈控制方法及装置
成果类型：: 发明专利
发布时间: 2022-11-12 15:20:49
科技成果产业化落地方案
方案提交机构：“科创中国”科技创新全链条服务生态系统专业科技服务团| bayuegua123 | 2022-11-18 11:54:09
本技术的目的是在于提供了一种微电子机械传感器的被动光学反馈控制方法，该方法简单、高效、成本低，操作简单。被动光学反馈控制利用激光作用在微电子机械传感器上的热辐射力作为控制微电子机械传感器运动的反馈控制力，具有很高的控制效率，可以显著改善微电子机械传感器的动态性能，降低微电子机械传感器的测量噪声，提高微电子机械传感器的响应速度，尤其适合对极高灵敏度微电子机械传感器的优化控制。
本技术的另一个目的是在于提供了一种微电子机械传感器的被动光学反馈控制的装置，这种控制装置结构简单，成本低。而且由于这种控制装置的组要控制部件为光学部件，使得这种控制装置具备良好的抗外界电磁干扰的能力，不易在微电子机械传感器测量系统中引入额外的控制系统噪声。
本技术使用被动光学反馈控制系统实现微电子机械传感器优化控制的方法，该控制方法的控制效果完全不依赖于微电子机械传感器振动测量信号信噪比，而且有很好的抗外界电磁干扰性能，对控制系统的技术要求低、易于实现。在利用传统的电子主动反馈控制方法实现微电子机械传感器的优化控制时，为了保证反馈系统具有高的工作稳定性、尽量减小有反馈系统引入的噪声产生，需要根据控制源设计复杂的反馈电路。本发明在获得稳定高效的微电子机械传感器优化控制效果的同时，免除了复杂的电路的设计，由于使用了被动的振动控制机理，在最大限度上降低了反馈系统引入的噪声。而且这种控制不依照微电子机械传感器振动测量信号做出响应，即使在测量信噪比很低的情况下这种控制方法依然能够获得很好的控制效果。
在科学技术高速发展的现代社会中，人类已经入瞬息万变的信息时代，人们在日常生活，生产过程中，主要依靠检测技术对信息经获取、筛选和传输，来实现制动控制，自动调节，目前
我国已将检测技术列入优先发展的科学技术之一·典于微电子技术，光电半导体技术，光导
纤维技术以及光栅技术的发展，使得光电传感器的应用与日俱增这种传感器具有结构简单、非接触、高可靠性、高精度、可测参数多、反应快以及结构简单，形式灵活多样等优点，在自动检测技术中得到了广泛应用，它一种是以光电效应为理论基础，由光电材料构成的器件。
，具有重要的应用价值和学术意义。
曹更玉，男，博士，研究员，1984山东师大化学系，获理学学士学位；1991中科院大连化学物理研究所获理学硕士与博士学位；1991-1997：中国科学院大连化学物理研究所助理研究员、副研究员；1997-2000，日本北海道大学触媒研究中心NEDO博士后、CEO研究员。2000-2006，中国科学技术大学化学物理系、合肥微尺度物质科学国家实验室教授、博士生导师。在***, PCCP, ***, ***，Colloids and Surfaces A等杂志发表研究论文40余篇。
以汽车传感器举例：是汽车电子控制系统的关键部件，
传感器作为汽车电子控制系统的信息源，在很大程度上决定
子技术领域研究的核心内容之二
汽车电子化和智能化水平的发展程度，
了对传感器的需求程度。如今汽车的信息化电子化水平在不断提高，
传感器的市场需求量也
在随着汽车业的发展而逐渐增大。
汽车传感器市场细分为三类∶动力总成，底盘与车身。
2007年全球汽车传感器市场
21亿美元，车身传感器占13亿美元。预计在规模达47亿美元，其中底盘传感器市场为
10%。预计2012年全球动
未来几年内，全球所有的传感器领域的复合年增长率都将超过力总成传感器市场将达到
10.5%。底盘传感器市场将增长到77亿美元，复合年增长率为
35亿美元，复合年增长率为11%。2012年车身传感器市场将达到22亿美元，复合年增长率为11.7%。市场前景巨大！
技术许可、技术转让；寻求资源对接，最好有明确的目标合作区域、目标合作领域、目标合作企业等；目标合作投融资机构等
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