本发明公开了一种带有监测系统的芯片清洗机及其清洗方法,涉及到芯片清洗设备领域,包括一种带有监测系统的芯片清洗机,包括清洗组件、干燥组件以及监测组件,有益效果:本发明通过控制翻转电机对料板一端的转轴进行驱动,驱使料板进行180度翻转,从而完成对料板上所固定的芯片进行翻面,方便由料板底部设有的喷液管对芯片进行双面清洗,由干冰喷洗设备通过导气管对干冰喷头供应干冰,使干冰喷头底端的喷嘴对芯片上表面进行喷射干冰,同时由丝杆驱动箱对丝杆进行驱动,驱使干冰喷头进行横向移动,对料板上固定的多个芯片进行喷射干冰,使芯片干燥。

本发明的目的在于提供一种带有监测系统的芯片清洗机及其清洗方法，以解决上述背景技术中提出的问题。为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种带有监测系统的芯片清洗机，包括清洗组件、干燥组件以及监测组件，所述清洗组件包括通过支柱固定于底板座上的清洗箱，清洗箱内部设有一对转接座，且两个转接座之间设有料板，所述清洗箱内部且位于料板的正下方设有喷液管，且喷液管上设有多个垂直指向上方的喷液嘴，所述清洗箱的底部设有排液接口，且排液接口通过导液管连接储液筒的上端，储液筒的底部设有回液接口，且回液接口连接有抽液泵，抽液泵的出液接口通过回液管与喷液管相连接，所述干燥组件包括通过支柱固定与底板座上的干燥组件主支架，干燥组件主支架的两侧设有轴杆支座，且干燥组件主支架两侧的轴杆支座连接有滑轴以及转接有丝杆，滑轴、丝杆上连接有喷头支座，喷头支座上固定有干冰喷头，干冰喷头上端通过导气管与干冰喷洗设备连接，所述干燥组件主支架的一侧设有丝杆驱动箱，且丝杆的一端与丝杆驱动箱内部驱动组件的输出轴传动连接，所述喷头支座的底部一侧一体成型有监测组件支座，且监测组件支座上设有监测组件。

清洗机是将芯片表面的颗粒、有机物、金属杂质等污染物去除，以获得所需洁净表面的工艺设备。在芯片的生产加工过程中，几乎所有工艺流程都需要清洗环节，清洗步骤占芯片生产工艺所有步骤的1/3，最多可达到200次。

传统对芯片板料进行全面清洗时，通常需要先对芯片板料的一面进行清洗后，再由人工进行翻面、固定，从而再对芯片的另一面进行清洗，操作过程较为繁琐，影响清洗效率；在对芯片清洗后需要对芯片干燥以及对清洗后的芯片进行检测其清洁效果，需要切换另一工序或设备进行操作，同样影响其工作效率。

常州机电职业技术学院（Changzhou Vocational Institute of Mechatronic Technology），坐落于常州科教城，是一所省属公办全日制普通高等学校，学校为中国特色高水平高职学校建设单位（C档）、国家示范性（骨干）高职院校、江苏省高水平高职院校。 常州机电职业技术学院前身为创办于1963年的常州市机械职业学校；1965年更名为常州市机械中级技术学校；1966年更名为常州市红大机械学校； 1968年8月更名为常州市机械学校；1973年更名为常州机械技术学校；1978年更名为常州机械学校；2002年6月28日，学校由原常州机械学校独立组建常州机电职业技术学院，升格为普通高等学校。 截至2020年12月，学校占地942亩，建筑面积30多万平方米，有全日制在校生12000余名（留学生近400名），教职工700余名；设10个院和3个部，开设48个高职专业；学校先后获国家教学成果一等奖等国家级教学成果奖4项；获国家精品课程5门；国家精品教材2部；主持国家专业教学资源库3个；有国家级教学团队2个。

1、本发明通过控制翻转电机对料板一端的转轴进行驱动，驱使料板进行180度翻转，从而完成对料板上所固定的芯片进行翻面，方便由料板底部设有的喷液管对芯片进行双面清洗；

2、本发明由干冰喷洗设备通过导气管对干冰喷头供应干冰，使干冰喷头底端的喷嘴对芯片上表面进行喷射干冰，同时由丝杆驱动箱对丝杆进行驱动，驱使干冰喷头进行横向移动，对料板上固定的多个芯片进行喷射干冰，使芯片干燥；

3、本发明设有清洁液循环使用组件，清洗完芯片的清洁液由清洗箱进行收集，且由清洗箱底部的排液接口通过导液管回流至储液筒内部，清洁液流经储液筒内部设有滤板以及生物滤棉进行过滤，去除清洁液中含有的颗粒杂质，过滤后的清洁液由抽液泵抽取下回流供应至喷液管，对芯片进行冲洗。

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