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一种激光直接刻蚀聚合物基体表面覆盖金属膜的方法

成果类型：: 发明专利

发布时间: 2022-05-17 10:52:20

科技成果产业化落地方案
方案提交机构：浙江省温州市| 姚情秘 | 2022-12-09 13:01:07
成果简介 技术亮点 应用前景 团队概括 产生的效益 转化方式

本发明提供了一种激光直接刻蚀聚合物基体表面覆盖金属膜的方法，包括：设定激光直接刻蚀的初始工艺参数，所述初始工艺参数使得单次激光扫描所能去除的金属膜的厚度小于聚合物基体的最大允许损伤深度；按照初始工艺参数，进行激光扫描，并采集工件表面的红外温度场累加图像；将当前红外温度场累加图像与历史红外温度场累加图像进行对比；若没有突变，继续扫描；若有突变，设定改进工艺参数，所述改进工艺参数使得单次激光扫描所能去除的聚合物基体的厚度小于最大允许损伤深度的一半；按照改进工艺参数，进行最后一次激光精细扫描。本发明所述的方法工艺简单、刻蚀精度高、适用性好，实现了对激光刻蚀加工工艺的闭环自适应控制，工艺重复性好。

另外，该工艺对基底材料要求低（导电基底即可）；形状无限制（可以完成任意表面形状的电极制备，有利于制备各种类型的热能回收装置，如管式回收装置 ) ；常温操作（适用于低熔点基底，如 ITO 玻璃）；电极面积无限制（可制备回收地热能、太阳光热能的大面积能源回收装置）等优势。

本发明涉及热电化学电池领域，具体是涉及热电化学电池的电极，特别是指一种基于电泳法的碳基纳米薄膜热电化学电极的制备方法。热电化学电池（Thermo-electrochemical cell）是一种基于电化学塞贝克效应的热能回收装置，可以将正极和负极之间的热能差直接转化为电能。长久以来，热电化学电池以贵金属铂作为其电极材料，这种电极工作性能稳定，但是能量转化效率一般，且造价极其昂贵。电极造价昂贵以及能量转换效率低是热电化学电池是影响热电化学电池应用价值的主要因素。

董长昆教授简介 一、个人基本情况： 姓 名： 董长昆 性 别： 男 出生年月： 1965 年 2 月民 族： 汉 职称职务： 教授，研究所长 政治面貌： 最后学历、学位：博士 近期半身正面两寸照片，电子版用邮件附件 一 起 发 到近250期13半31身6@正qq面.co两m寸照片 工作单位：温州大学物理与电子信息工程学院 通信地址： 温州市茶山高教园区温州大学南校区 1 号楼 202 室邮政编码：325035 电 话：0577-86689067 E-Mail： dck@*** 二、从事研究的专业领域及主要研究方向 研究的专业领域： 碳纳米管生长机制、电子传输与吸附性能研究；碳纳米场发射物理电子器件开发；碳纳米能源电池器件研究。

本发明提供一种制作工艺简单、能耗低的电泳法制备碳基纳米薄膜电极的方法，该方法不需要纳米材料与集流体之间的二次粘贴过程，而是将纳米材料直接附着于集流体（基底）上，电极的表面电阻更低，更有利于提升能量转化效率。

技术合作，遣派学者专家到国外或者其他地区的高校，研究机构或者生产企业与对方的学者，专家合作进行研究设计，或者双方学者，专家轮流到对方学校，研究机构或者企业进行研究。