科创中国
一种利用差谱法收集激光诱导反射光谱的方法
成果类型：: 发明专利
发布时间: 2022-05-08 13:01:20
科技成果产业化落地方案
方案提交机构：浙江省温州市| 姚情秘 | 2022-12-10 21:13:38
本发明公开了一种利用差谱法收集激光诱导反射光谱的方法，本发明通过比较激光器开启前后接收到的反射光谱的信号的变化，得出两者的之间的差谱信号，由此获得激光诱导紫外 - 可见反射光谱。本发明的方法省略了锁相放大器和斩波器，使得设备体积缩小，成本降低 ；使用了基于线性 CCD 的微型光谱仪，动态范围极大，而且可以同时测量所有波长的强度，测试速度大大提高 ；收集到的差谱呈现的是强度谱的形式，而利用光调制和锁相放大器技术获得的反射光谱的微分形式，因此数据处理和机理分析更加方便、直观
本发明的方法省略了锁相放大器和斩波器，使得设备体积缩小，成本降低 ；使用了基于线性 CCD 的微型光谱仪，动态范围极大，而且可以同时测量所有波长的强度，测试速度大大提高 ；收集到的差谱呈现的是强度谱的形式，而利用光调制和锁相放大器技术获得的反射光谱的微分形式，因此数据处理和机理分析更加方便、直观
本发明涉及一种光谱分析技术，尤其涉及一种激光诱导紫外 - 可见反射光谱的测试方法
紫外 - 可见光谱仪是半导体材料表征的重要工具，常常用来测量半导体材料的禁带宽度、薄膜厚度、折射率等主要参数
该系统与一台普通的反射光谱仪十分相似，只不过增加了一台附带斩波器的激光器和一台锁相放大器。光子能量大于材料禁带宽度的激光器以周期性的脉冲方式工作，导致半导体材料表面载流子浓度的周期性变化，因而使得材料表面激光照射区的折射率也发生相应的变化。由于反射率与折射率相关，因此折射率的变化又导致反射率的变化。通过对激光强度的调制并用锁相放大器检出微弱的信号，即可得到材料的禁带宽度以及杂质和缺陷的电离能
季振国，杭州电子科技大学特聘教授，浙江大学博士生导师，山东大学合作博士生导师，中国致公党浙江省委委员兼杭电支部主任委员，无机材料学报编委，中国真空学会理事，浙江省新世纪151人才工程入选人员。曾先后在浙江大学、英国Surrey大学、美国Lawrence Berkeley国家实验室、日本东京大学、香港中文大学等地学习和研究，主要从事电子材料与器件方面的教学与研究。已在国内外刊物上发表100多篇学术论文，获得10多项国家发明专利授权，承担和参与了包括国家重大基础研究项目（973）、国家自然科学基金重大项目、863高科技项目、军事973项目、军用元器件预研项目、国家自然科学研究基金等多个研究项目，几十年来为国家培养博士生和硕士研究生60余人
1、省略了锁相放大器和斩波器，使得设备体积缩小，成本降低 ；2、使用了基于线性 CCD 的微型光谱仪，动态范围极大，而且可以同时测量所有波长的强度，测试速度大大提高 ；3、收集到的差谱呈现的是强度谱的形式，而利用光调制和锁相放大器技术获得的反射光谱的微分形式，因此数据处理和机理分析更加方便、直观
技术合作，遣派学者专家到国外或者其他地区的高校，研究机构或者生产企业与对方的学者，专家合作进行研究设计，或者双方学者，专家轮流到对方学校，研究机构或者企业进行研究。
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