科创中国
X射线反射镜制造工艺
发布时间: 2026-09-15
基本信息
合作方式：
技术许可
成果类型：
发明专利
行业领域：
高端装备制造产业,新材料产业
成果介绍
本系列成果围绕同步辐射光源中X射线反射镜的超高精度加工及检测等相关工艺、制造装备展开，涉及到单晶硅等晶体材料的抛光修形、斜率误差检测及修正等内容，包括非水基磁流变抛光液制备方法、晶体磁流变抛光方法、复合随机振动的抛光装置、长条悬臂类光学元件车削方法、用于小角度测量的共光路激光干涉装置及测量方法、基于面形误差斜率的确定性修形加工方法、等离子体抛光装置及工艺方法、用于测量及加工的高精度静压导轨的全息检测方法、及正交导轨平台的垂直度误差测量方法等。
相关技术可广泛应用于同步辐射光源、自由激光电子等大科学装置中X射线反射镜的高精度制造领域等领域，同时可扩展至高能激光系统、探测系统中单晶硅等晶体材料的加工，支撑实现X射线反射镜等先进光学元件的高精度制造，为大科学装置的研发与应用提供核心技术支撑，具有重要的工程应用价值。
成果亮点
相关专利：
序号 申请号 申请日
1 CN201210322222.6 2012-09-04
2 CN201410041014.8 2014-01-26
3 CN201410288335.8 2014-06-25
4 CN201410292504.5 2014-06-25
5 CN201510255832.2 2015-05-19
6 CN201510344966.1 2015-06-19
7 CN201510660652.2 2015-10-14
8 CN201510661467.5 2015-10-14
9 CN201610650107.X 2016-08-09
团队介绍
国防科技大学智能科学学院，位于湖南长沙，学院主要面向智能无人作战重大战略需求，在智能平台、智能感知与控制、智能通信与导航、智能集群、智能保障等方向打造“智能无人”新亮点。学院主要有控制科学与工程、机械工程、仪器科学与技术三大学科，均位居国内前列，三个学科均为军队一流学科，均设有博士后科研流动站
成果资料
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