稀土铁石榴石单晶厚膜生长技术

面向雷达、航天等领域中宽带微波频率器件和磁光隔离器件小型化、片式化及芯片化的发展需求，针对外延2/3英寸稀土铁石榴石单晶厚膜材料（RIG）难以突破400μm的技术瓶颈问题，团队研发了高维尔德常数、低场驱动、低损耗的稀土铁石榴石单晶厚膜生长技术及新型双坩锅液相外延装备。该技术基于法拉第转子（稀土铁石榴石单晶薄膜）在磁场调制下使得偏振光产生非互易旋转，实现对光的强度（隔离）和方向（环形）进行调制，实现了大尺寸、高品质稀土铁石榴石单晶厚膜可控制备，建立了完整的材料-机理-器件-装备一体化技术路线。

薄膜厚度大于400μm、尺寸2~3英寸、铁磁共振线宽小于5Oe、阻尼系数小于2×10-4、近红外波段透射率大于90%，能够有效的满足微波磁性器件与磁光器件应用需求。该技术可应用磁光隔离器、磁调谐滤波器、振荡器、环形器等微波及光元器件的构建，可推广至激光制导、激光测距、光电对抗和激光通讯等领域应用。

联系人：庄老师电话：15295039286 单位名称：常州市武进区科技成果转移中心