科创中国
芯片刻蚀机用柱状晶大尺寸硅环成果转化
发布时间: 2025-12-18
基本信息
合作方式：
技术咨询
成果类型：
新技术
行业领域：
新材料技术
成果介绍
本项目旨在推动“芯片刻蚀机用柱状晶大尺寸硅环”这一关键技术的成果转化与应用。该硅环是半导体芯片制造中刻蚀工艺的核心部件，采用先进的柱状晶结构设计与大尺寸成型工艺，可满足高端芯片制造对精度、稳定性与耐用性的严苛要求。本项目已获批为自治区重点科技成果转化项目（立项编号：2025CJE09041），由乙方承担实施任务，旨在实现该技术从研发到产业化应用的跨越，提升我国在半导体关键零部件领域的自主保障能力。
成果亮点
1.技术先进：采用柱状晶结构，兼具高纯度、高均匀性与优异力学性能，满足芯片刻蚀工艺对材料的高标准要求。
2.大尺寸突破：实现硅环的大尺寸化制造，适用于新一代半导体刻蚀设备，支撑更高效率与更精密的芯片生产。
3.国产化关键一环：项目聚焦半导体装备核心部件自主化，有助于打破国外技术垄断，保障产业链安全与稳定。
4.政府重点支持：列入自治区重点科技成果转化项目，获得政策与资源支持，加速技术落地与产业化进程。
5.产学研协同转化：通过合同明确甲乙双方权责，推动科技成果高效转化，促进科技与产业深度融合。
团队介绍
北方民族大学材料学院卢辉、董福元、李宁科研团队，是一支深耕于新能源材料与器件领域的骨干研究力量。团队以新能源材料，特别是光伏与纳米功能材料为主要研究方向。以中青年博士为骨干，学术背景扎实、研究方向前沿、产学研成果显著，并在教学育人方面富有特色的科研集体，是服务宁夏地区新材料与新能源产业发展的重要科研力量。
成果资料
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