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一种基于色散补偿机理的双层光栅宽带太赫兹偏振波片
发布时间: 2025-11-04
基本信息
合作方式：
技术转让
成果类型：
发明专利
行业领域：
高技术服务业,光学工程,光学器件
成果介绍
本发明公开了一种基于色散补偿机理的双层光栅宽带太赫兹偏振波片，属于太赫兹技术领域，包括介质光栅层、介质衬底层和金属光栅层，所述介质光栅层和所述金属光栅层分别设置在所述介质衬底层的两侧，所述介质光栅层为偏振波片的正面，所述金属光栅层为偏振波片的反面，所述介质光栅层与所述金属光栅层的光栅取向呈90°夹角。本发明提供的一种基于色散补偿机理的双层光栅宽带太赫兹偏振波片，基于相移色散补偿机理，实现宽带的太赫兹线偏振‑圆偏振以及90°线偏振的偏振态转化。
成果亮点
创新色散补偿结构设计 采用介质光栅（Topas环烯烃共聚物）与金属光栅（铝）正交堆叠架构，通过双层级联相移实现0.3-1.5THz超宽带色散补偿，相位差波动控制在±5°以内，相对带宽达130%。 高效偏振转换性能 实现线偏振-圆偏振转换（椭圆率＞0.98）与90°线偏振旋转（消光比＞25dB），插入损耗＜0.5dB，性能优于传统单层波片3倍以上。 紧凑型片上集成方案 整体厚度仅λ/6（中心频率处），通过标准光刻工艺实现200mm晶圆级加工，单元尺寸500×500μm²，兼容CMOS-THz集成电路工艺。 环境鲁棒性突出 在-50℃~100℃温度范围内相位稳定性变化＜2°，通过MIL-STD-810G机械振动测试，满足航天级太赫兹通信系统要求。
团队介绍
曲阜师范大学 许士通; 孙彤; 李国明; 李建迪; 王英华; 曹洪忠; 马任德
成果资料
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