本发明属于半导体器件领域,公开了通过掺杂提升MXene异质结光电探测器性能的方法,该探测器是通过n型半导体与MXene薄膜构成的异质结实现光电探测,通过采用MoO
成果亮点
能带工程精准调控
通过MoO₃ p型掺杂调控MXene(Ti₃C₂Tₓ)功函数(从4.2eV提升至5.1eV),与n型硅形成0.9eV的高势垒,内建电场强度增强300%,器件开路电压提升至0.68V。
多维协同光电转换机制
结合硅基宽谱吸收(400-1100nm)与MXene超快电荷收集(载流子迁移率≥250cm²/V·s),实现92%的量子效率,响应度达5.3A/W(@850nm),优于传统硅基探测器2个数量级。
晶界缺陷钝化技术
MoO₃填充MXene层间间隙,降低界面复合中心密度,使暗电流压降至50pA/μm²,比探测率突破3×10¹³ Jones(@1V偏压)。
柔性器件工艺突破
采用旋涂-退火工艺实现MXene-MoO₃复合薄膜(厚度8nm)在PET基底上的均匀制备,弯曲半径3mm条件下性能衰减<5%,为可穿戴光电子提供新方案。
团队介绍
安徽大学 谢超; 徐世杰; 王毅; 崔锡胜; 程宇; 黄志祥
成果资料