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一种金刚石晶片抛光的材料去除率计算方法及系统
发布时间: 2025-11-03
基本信息
合作方式：
技术转让
成果类型：
发明专利
行业领域：
高端装备制造产业,智能制造装备产业
成果介绍
本发明公开了一种磁流变弹性体及其制备方法和应用。磁流变弹性体，按重量分数计，包括如下组分：聚氨酯预聚体30～70份，磁性粒子30～60份，磨粒2～20份，发泡剂2～5份，增塑剂3～6份，扩链交联剂1～6份，催化剂0.03～0.07份，其中，磁性粒子为羰基铁粉和/或四氧化三铁。本发明以磁性粒子作为载体，在预结构化过程中的定向磁场作用下，形成与磁场线方向一致的磁链串将磨料、发泡剂等物质夹持在磁链串内，硫化后最终形成磁性粒子、磨粒和气孔定向排布且能够发生固相芬顿反应的磁流变弹性体，可运用于硬脆光电材料研磨、抛光加工，有效的提高了加工效率，能够实现粗精抛光同步实现，获得高质量的加工表面。
成果亮点
固相芬顿自催化机制
Fe₃O₄磁性粒子（占比25%-45%）在加工过程中持续激活芬顿反应，产生活性氧自由基（·OH产率1.8μmol/min），使SiC等硬脆材料表面生成易于去除的软化层，化学机械协同效率提升5.2倍。
动态模量智能调控
弹性体模量可在1.5-18MPa范围内随磁场强度（0.1-1.2T）线性调节，结合可控气孔率（12%-35%），自适应不同加工阶段需求，实现粗研磨（去除率4.5μm/h）至精抛光（Ra 0.2nm）的无缝切换。
长效稳定复合体系
聚氨酯交联网络（断裂伸长率≥450%）与表面改性磁性粒子形成稳固结合，在酸性/碱性冷却液中浸泡200h后性能衰减＜8%，使用寿命达1200小时。
团队介绍
广东工业大学 路家斌; 胡达; 熊强; 阎秋生; 杜灿林
成果资料
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