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超精密加工中的真空/惰性气体环境控制系统

发布时间: 2025-10-31

基本信息

合作方式： 技术转让
成果类型： 发明专利
行业领域：
电子信息技术,新型电子元器件
成果介绍
针对超精密加工对环境纯净度的极高要求，本项目研发了真空或惰性气体（如氩气、氮气）环境控制系统。核心突破在于：实现了超精密机床工作区域的局部超净和微正压/真空环境；有效隔绝了空气中的尘埃、水分和氧化作用对加工表面质量的影响，适用于半导体和特殊材料加工。
成果亮点
环境纯净度高： 达到ISO 1级或更高等级的局部超净环境。防止表面氧化： 在惰性气体环境下进行加工，防止活性金属或半导体材料表面氧化。隔绝微尘污染： 避免了空气中的微尘颗粒对超精密加工表面的污染和划伤。适用于特殊材料： 满足对环境要求极高的特殊材料（如易燃、易氧化）的超精密加工需求。
团队介绍
团队来自于“环境控制与超净制造研究所”，专注于环境控制、洁净技术和超精密加工环境保障。团队负责人张敏教授，在精密环境控制方面有丰富经验。
成果资料