科创中国
MEMS微型金属三维结构件系统制造技术制备微型减速器
发布时间: 2025-10-19
基本信息
合作方式：
技术转让
成果类型：
发明专利
行业领域：
高端装备制造产业,智能制造装备产业
成果介绍
中国科学院微电子研究所开展了 MEMS 微型金属三维结构件系统制造技术（含微型减速器）的攻关研究，该技术可应用于航空航天、手术机器人、无人机、传感器、生化医疗、光微电子等领域，目前已形成涵盖光刻技术、电化学沉积、分层制造、刻蚀技术的核心技术体系，关键制造流程的稳定性与精度指标已达到行业应用基础要求。
成果亮点
当前国内 MEMS 微型金属三维结构件及微型减速器领域，高端技术与核心制造能力存在短板，部分关键产品依赖进口且成本较高。本项目通过整合光刻、电化学沉积、分层制造、刻蚀等多技术路径，实现了微型金属三维结构件的自主化制造，在尺寸精度、集成度及适配性上可匹配高端应用需求，能有效降低下游行业对进口产品的依赖，具备显著的技术替代与成本优化潜力。
团队介绍
中国科学院微电子研究所MEMS微型金属三维结构件系统制造技术（含微型减速器）研发团队，以叶甜春研究员为学术带头人，依托微电子器件与集成技术重点实验室组建，核心成员35人，包括研究员6人、副研究员10人、高级工程师5人及博硕士研究生14人，形成“MEMS工艺研发-结构设计-系统集成-性能测试”的多学科创新梯队。团队中3人入选国家级人才计划，5人获中国电子学会科技进步奖，在微型制造与MEMS器件领域具有国际领先的学术影响力。
团队针对航空航天、手术机器人等领域对微型精密结构件的需求，在叶甜春研究员带领下突破核心技术瓶颈。构建涵盖光刻技术、电化学沉积、分层制造、刻蚀技术的完整技术体系：研发深紫外光刻与SU-8胶图形化工艺，实现微米级图形精度控制；创新电化学沉积工艺，制备出致密度达98%以上的微型金属结构；开发基于激光辅助的分层制造技术，解决复杂三维结构成型难题；优化干法刻蚀与湿法刻蚀协同工艺，提升结构侧壁垂直度与表面粗糙度。所研制的微型减速器传动精度达0.1弧分，体积较传统减速器缩小60%，关键制造流程稳定性与精度指标满足行业应用基础要求。
成果资料
产业化落地方案
下载app