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抗高过载、低成本三轴单片集成MEMS陀螺(传感器)

发布时间: 2025-10-17

基本信息

合作方式: 技术转让
成果类型: 发明专利
行业领域:
高端装备制造产业,智能制造装备产业
成果介绍

该成果采用硅微机械技术,通过四根热线与三轴敏感设计实现单芯集成,具备抗高过载特性与低成本优势,可适配微小型武器及民用领域需求,当前成果处于概念阶段。

成果亮点
我国 MEMS 陀螺传感器在高过载场景适应性、多轴集成度及成本控制上存在局限,该成果通过单芯集成实现三轴敏感,突破传统多芯片组合的体积与成本瓶颈,同时具备抗高过载能力,填补微小型武器与民用领域对高性价比三轴 MEMS 陀螺的需求空白,技术经济性突出。
团队介绍
北京信息科技大学开展了抗高过载、低成本三轴单片集成 MEMS 陀螺(传感器)的攻关研究。
成果资料
产业化落地方案
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