抗高过载、低成本三轴单片集成MEMS陀螺(传感器)
发布时间: 2025-10-17
基本信息
该成果采用硅微机械技术,通过四根热线与三轴敏感设计实现单芯集成,具备抗高过载特性与低成本优势,可适配微小型武器及民用领域需求,当前成果处于概念阶段。