成果介绍
该成果属于表面形貌测量技术领域,通过对干涉曲线原始数据预处理、高斯函数生成包络曲线、连续函数拟合包络线获取极值点,最终确定相干峰位置。该方法对尖峰噪声具有免疫性,定位精度高,不受采样频率波动限制,适用于白光扫描干涉术中高精度相干峰定位。
成果亮点
创新性地采用高斯函数作为模板调制干涉曲线生成包络曲线,有效抑制尖峰噪声影响;通过二次函数拟合包络线求取连续函数极值,相比传统离散点极值法定位精度更高;采用巴特沃斯滤波器进行低通滤波预处理,进一步提升数据质量;整体方法抗干扰能力强,稳定性高,不受采样频率波动限制。
团队介绍
研发团队核心成员为张春熹、李豪伟、李慧鹏、宋凝芳,均来自北京航空航天大学,在表面形貌测量与光学干涉技术领域具有深厚研究积累。团队分工协作,张春熹主导方法设计,李豪伟、李慧鹏参与算法优化与数据处理,宋凝芳负责实验验证与系统集成,共同完成该相干峰定位方法的技术突破。
成果资料
产业化落地方案