一体构型的全柔性并联三维精密位移台

该成果属于精密位移技术领域，由外层固定框架、中层嵌套移台框架与内层嵌套移台框架组成，通过全柔性铰链连接，形成对称式并联四连杆机构和四连杆机构，可实现负载平台沿 x、y、z 轴的三维精密移动，定位精度达 50nm。一体构型设计避免了机械装配误差，结构紧凑，适用于高精度位移控制场景。

创新性地采用一体构型全柔性铰链结构，实现一体化加工，消除装配误差；通过 10:1 杠杆机构放大精度，达到 50nm 定位精度；对称式并联机构设计抑制非运动方向寄生误差；沿运动方向对称布置弹簧消除回程误差；三层框架正交嵌套，保证三个方向运动互不干扰，结构紧凑且便于加工。

研发团队核心成员为贾明、武立勇、宋凝芳，均来自北京航空航天大学，在精密机械与位移控制领域具有深厚研究积累。团队分工协作，贾明主导整体结构设计，武立勇参与柔性铰链与机构优化，宋凝芳负责实验验证与性能测试，共同完成该精密位移台的技术突破。