一种适用于表面形貌检测的白光干涉三维重建方法

该成果属于表面形貌测量技术领域，通过移相器和相机配合采集原始数据，利用高斯函数生成干涉曲线的包络曲线并拟合获取零光程差位置，结合 Carré 相移算法解算相位信息，综合两者得到高度信息以重建样品表面三维形貌。适用于各种样品的表面形貌测量，在有外界干扰的情况下仍能保证结果准确，鲁棒性强。

创新性地采用高斯函数调制干涉曲线生成包络曲线，通过二次函数拟合定位零光程差位置，相较于离散采样点更精准，且不受移相器采样频率波动影响；结合 Carré 相移算法解算相位信息，综合强度与相位信息提升高度测量精度；能有效抑制机械振动、光源波长漂移等外界干扰，对被测样品无选择性，鲁棒性显著提升。

研发团队核心成员为张春熹、李豪伟、李慧鹏、宋凝芳，均来自北京航空航天大学，在表面形貌测量与光学检测领域具有深厚研究积累。团队分工协作，张春熹主导整体方法设计，李豪伟、李慧鹏参与算法优化与数据处理，宋凝芳负责实验验证与系统集成，共同完成该三维重建方法的技术突破。