一种加速度计摆片平桥的蚀刻方法

航天科工惯性技术有限公司开展了加速度计摆片平桥加工核心技术的攻关研究，通过蚀刻窗口参考面、同时蚀刻平桥和窗口等步骤实现对加速度计摆片平桥的精确刻蚀。实现指标：蚀刻加工的平桥厚度精度可达 ±1μm，且蚀刻得到的平桥厚度不受原材料、腐蚀液及蚀刻速率的影响，有效提高了加速度计摆片的加工精度。

传统加速度计摆片平桥加工中，平桥和窗口分别加工，依靠估算蚀刻速率控制时间来控制平桥厚度，精度不高，且超声落料工艺设备、工艺复杂，废品率高，成本消耗大。本项目通过制作窗口参考面，窗口和平桥结构采用相同化学蚀刻方法同时加工，利用窗口作为参考面准确获得所需平桥厚度，无需超声落料工艺，简化流程，操作性强，具有成本优势，经济效益可观。

按照解决该项成果技术问题所作贡献大小排序，研发团队成员包括袁枫、张兰、刘英、吴艳、秦淑斌、郭琳瑞、周峰。该团队在加速度计摆片加工技术领域具有一定的研发经验，分工明确，共同完成了该蚀刻方法的研究与开发，成功攻克了平桥加工精度不高的技术难题。