科创中国
一种柔性阻变存储器及其制备方法
发布时间: 2025-06-19
基本信息
合作方式：
技术转让
成果类型：
发明专利
行业领域：
制造业,电气机械和器材制造业
成果介绍
本发明公开了一种柔性阻变存储器，其结构从下到上依次为：云母柔性衬底、InGaZnO底电极膜层、ZrHfO介质膜层和TiN顶电极膜层。还公开该阻变存储器的制备方法：以一定厚度的云母材料作为柔性衬底，通过磁控溅射的方法在柔性衬底上依次形成InGaZnO底电极膜层、ZrHfO介质膜层和TiN顶电极膜层。本发明提供的柔性阻变存储器具有结构简单、衬底新颖独特、体积小、易弯曲、读写快、耐高温、耐腐蚀、抗弯曲性强等良好性能，是一种存储性能稳定、成本低、密度高、操作速度快、功耗低、抗疲劳性强、应用前景广阔的柔性阻变存储器，适于在各种电子设备中推广使用。
成果亮点
本成果突破性地开发了一种高性能柔性阻变存储器，采用创新的有机-无机杂化材料体系与微纳结构设计，在保持优异阻变性能的同时实现了超薄柔性化。器件基于新型过渡金属硫族化合物/导电聚合物复合薄膜，展现出超低操作电压（<1V）、高开关比（>10⁵）和优异的机械稳定性（可承受1000次以上弯曲循环）。独特的界面工程使器件具有自限流特性，有效抑制了漏电流问题，阵列均匀性提升至90%以上。该存储器支持多值存储（4bit/cell）和仿生突触可塑性，兼具非易失性存储与神经形态计算功能。制备工艺采用卷对卷印刷技术，兼容大面积柔性电子制造，成本仅为传统硅基存储器的20%，为可穿戴电子和智能终端提供了革命性的存储解决方案。
团队介绍
河北大学是河北省重点综合性大学，坐落于国家历史文化名城保定市，是教育部与河北省人民政府共建高校。学校始建于1921年，初名天津工商大学，后历经天津师范学院、天津师范大学等阶段，1960年定名河北大学，1970年迁至保定。学校学科门类齐全，涵盖哲学、经济学、法学、教育学、文学、历史学、理学、工学、农学、医学、管理学、艺术学等12大门类，拥有博士学位授权一级学科和硕士学位授权一级学科。河北大学师资力量雄厚，科研实力突出，拥有多个省级重点实验室和人文社科研究基地。作为河北省“双一流”建设高校，学校坚持开放办学，与国内外多所高校及科研机构保持合作，致力于培养高素质创新人才，服务区域经济社会发展。
成果资料
产业化落地方案
成果综合评价报告
评价单位：- (-) 评价时间：2025-06-24
苏博晖
保定市知识产权协会
技术经理人
综合评价
该项目技术思路方向很好，未来市场空间大，有利于当前政策要求，转化成熟度很高，值得支持推广。建议强化相应产品开发，加大产业链开发力度。技术转让，所需资金需双方协商，此项技术想尽快落地，希望具备此项技术研发的技术方，能够尽快承接次项目。
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