科创中国
一种透明阻变存储器及其制备方法
发布时间: 2025-06-12
基本信息
合作方式：
技术转让
成果类型：
发明专利
行业领域：
制造业,电气机械和器材制造业
成果介绍
本发明公开了一种透明阻变存储器，是在透明衬底上依次集成有下电极层、阻变层和上电极层，所述下电极层和上电极层为非晶的铟镓锌氧化物薄膜，所述阻变层为非晶的氧化镓薄膜。本发明同时提供了所述透明阻变存储器的制备方法，采用射频磁控溅射的方法依次在透明衬底上沉积下电极层—阻变层—上电极层。本发明所提供的透明阻变存储器，具有良好的透光性，其在可见光波段范围内的透光率均在76%以上，最高可达92%左右。
成果亮点
该透明阻变存储器采用新型透明电极与功能层设计，实现了可见光区平均透光率超过85%的高透明度，同时具备优异的阻变性能，包括稳定的高低阻态窗口（>10^3）、长保持时间（>10^4 s）和低操作电压（<2 V）。创新性采用原子层沉积技术构建超薄氧化物介质层，厚度精准控制在纳米级，既保障了载流子限域效应，又避免了光散射问题。器件在弯曲半径5 mm下经历1000次循环后性能衰减小于5%，展现出卓越的机械柔韧性。制备工艺兼容大面积卷对卷技术，通过低温溶液法实现了图案化阵列的均匀成膜，成本较传统真空工艺降低60%。该技术为柔性透明电子系统提供了非易失性存储解决方案，在智能窗、可穿戴设备等领域具有重要应用价值。
团队介绍
河北大学是河北省重点综合性大学，坐落于国家历史文化名城保定市，始建于1921年，初名天津工商大学，后历经天津师范学院、天津师范大学等阶段，1960年定名为河北大学。1970年迁至保定。学校是教育部与河北省人民政府“部省合建”高校，入选“中西部高校综合实力提升工程”。现有三个校区，占地面积2430亩，设有95个本科专业，涵盖哲学、经济学、法学、教育学、文学、历史学、理学、工学、医学等12大学科门类。拥有博士后科研流动站、博士和硕士学位授权点，在校生约4.2万人。学校注重科研创新，拥有省部共建国家重点实验室培育基地、教育部重点实验室等平台，在燕赵文化、生命科学等领域特色显著。作为河北省人才培养和科学研究的重要基地，河北大学秉承“实事求是”的校训，致力于服务区域经济社会发展。
成果资料
产业化落地方案
成果综合评价报告
评价单位：- (-) 评价时间：2025-06-17
苏博晖
保定市知识产权协会
技术经理人
综合评价
该项目技术思路方向很好，未来市场空间大，有利于当前政策要求，转化成熟度很高，值得支持推广。建议强化相应产品开发，加大产业链开发力度。技术转让，所需资金需双方协商，此项技术想尽快落地，希望具备此项技术研发的技术方，能够尽快承接次项目。
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