科创中国
超净高纯电子化学品的电化学制备新技术
发布时间: 2025-05-30
基本信息
合作方式：
技术转让
成果类型：
发明专利
行业领域：
化工
成果介绍
柠檬酸：电子级的柠檬酸主要应用于芯片抛光后的清洗，以除去芯片表面过多的金属离子和杂质，也可以作为缓冲溶液调节芯片抛光液中 pH 值。当前市售柠檬酸中金属离子浓度较高，无法满足集成电路行业的要求。针对此问题，本项目对电子级柠檬酸的制备方法进行了研究，创新性地提出通过超净电解法制备电子级柠檬酸的新工艺。40%柠檬酸产品中金属离子含量低于 10 ppb。
成果亮点
以离子膜电解法为核心技术处理与制备超净高纯湿电子化学品，主要用于芯片的清洗和腐蚀。该制备方法 1）灵活、方便、可调性强，可依据不同电子化学品的性质进行调整；2）可单独使用，也可与离子交换等方法结合使用；3）制备过程不使用其他化学品，可保持产品的高纯度。
团队介绍
华东理工大学原名华东化工学院，1952 年由交通大学、震旦大学、大同大学、东吴大学、江南大学等著名高等院校化工系合并组建而成，是新中国第一所以化工特色闻名、教育部直属全国重点大学。化学工程与技术学科是首批国家重点学科，2000 年被评为上海市“重中之重”学科，2008 年获批建设“985 工程优势学科创新平台”，2014 年入选上海市一流学科，2015 年入选上海高校 I 类高峰学科，2016 年在第四次学科评估中获评“A+”，2017 年入选国家世界一流学科建设学科，2022 年入选国家“一流学科培优行动”。
成果资料
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