高纯三氟化氮分离纯化关键技术的科学基础与精馏试验研究

高纯电子特气的低温精馏不完全等同于常规精馏，低温精馏系统处于低温环境，操作工况苛刻，所需理论板数巨大，同时属于典型的多变量、强耦合、非线性的复杂过程。

目前我国低温精馏技术研究多处于实验室研究阶段，具有机理不清晰、冷量利用率低、生产规模小、应用成本高、产品质量差等弊端。因此，高纯电子特气的低温精馏需要更加深入且系统的研究。

团队已经在高纯化学品制备方面突破多项精馏关键技术，取得国家科技奖励1项，省部级奖励多项，同时建立了集成电路高纯化学品制备技术教育部工程研究中心，对高纯化学品制备进行了多角度深入剖析，从合成制备-分离提纯=分析检测-罐装储运等全产业链实现多项技术攻关，另外牵头成立了中国化工学会高纯化学品装备与工艺专业委员会实现了国内高纯化学品的技术交流团体。