科创中国
一种金刚石晶片抛光的材料去除率计算方法及系统
发布时间: 2025-05-21
基本信息
合作方式：
技术转让
成果类型：
发明专利
行业领域：
高端装备制造产业,智能制造装备产业
成果介绍
本发明涉及金刚石抛光技术领域，公开了一种金刚石晶片抛光的材料去除率计算方法，包括：S1、在未抛光的金刚石晶片的表面加工划痕；S2、测量划痕的深度h0；S3、对金刚石晶片具有划痕的表面进行抛光，记录抛光所用的时间t；S4、测量金刚石晶片抛光后的划痕的深度h；S5、根据MRR＝(h0‑h)/t计算材料去除率MRR。由于金刚石的硬度极大，抛光加工MRR极低，难于快速准确的计算，本发明采用的材料去除率计算方法中，利用表面轮廓仪测量金刚石抛光前后表面划痕深度变化。其测量直观方便，且测量结果准性高、精度高，进而使抛光加工时微小材料去除率的计算准确性高，便于金刚石晶片抛光方法优劣的评价。本发明还提供一种实现上述方法的金刚石晶片抛光的材料去除率计算系统。
成果亮点
本成果创新性地提出了一种金刚石晶片抛光的材料去除率精确计算方法及智能分析系统，其核心亮点在于：通过多物理场耦合建模技术，首次实现了机械磨削、化学腐蚀和热力学效应的协同作用定量表征；开发了基于机器学习的动态工艺参数优化算法，可实时预测和调控材料去除率；系统集成高精度传感器网络与数字孪生技术，建立了抛光过程的闭环控制体系。该技术突破了传统经验公式精度不足的局限，将金刚石晶片抛光的面形精度提升至亚微米级，同时显著提高加工效率，为超硬材料精密加工提供了革命性的工艺优化工具，在半导体、光学和刀具制造领域具有重要应用价值。
团队介绍
广东工业大学（GDUT）是广东省重点建设的以工为主、多学科协调发展的综合性大学，坐落于广州。学校始建于1958年，1995年由三所工科院校合并组建，现为广东省高水平大学建设高校，入选国家"111计划"和"卓越工程师教育培养计划"。
学校以工科见长，工程学、材料科学等学科进入ESI全球前1%，拥有国家重点实验室等国家级科研平台。现有全日制在校生4.6万余人，设21个学院，84个本科专业，8个一级学科博士点。学校注重产学研结合，与华为、美的等企业深度合作，科研经费超10亿元，专利授权量位居全国前列。
成果资料
产业化落地方案
成果综合评价报告
评价单位：- (-) 评价时间：2025-05-22
苏博晖
保定市知识产权协会
技术经理人
综合评价
该项目技术思路方向很好，未来市场空间大，有利于当前政策要求，转化成熟度很高，值得支持推广。建议强化相应产品开发，加大产业链开发力度。技术转让，所需资金需双方协商，此项技术想尽快落地，希望具备此项技术研发的技术方，能够尽快承接次项目。
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