基于白光干涉的高灵敏气密性检漏仪的研究与开发

气密性检测在工业生产、能源输送以及居民生活中扮演着至关重要的角色。传统的气密性检测方法存在检测精度有限、操作复杂、适用范图狭窄等问题。因此，开发一种高灵敏、快速、便捷的气密性检淜仪器成为迫切需求。本项目针对发生泄漏的压力容器产生气流的特点，研发了基于白光干涉的气密性检漏仪。本仪器主要由激光源、光纤、环形器、光谱仪和膜片式光纤F-P传感器组成，激光源发出的光束经环形器后进入光纤F-P传感器，在F-P腔中形成干涉。当使用F-P传感器检测泄谣气流时，气流吹动膜片使F-P腔长产生变化，干涉光相位随之变化；干涉光经环形器进入光谱仪，光谱仪实现对干涉光的光电转换，并将干涉光的光谱信息上传至上位机软件；上位机通过解调算法对采集的光谱信息进行解调，最终获取代表泄漏气流大小的F-P腔长变化信息。

本密性检漏仪依靠光子传感检测气密性，从而实现了在极短的检测时间内达到极高的灵敏度。其检测精度可达10-5 mbar·l/s 突破了非示踪气体检测方法的检测瓶颈。

联系人：庄老师电话：15295039286 单位名称：武进区科技成果转移中心