科创中国
TCO 薄膜的智能设计和关键装备
发布时间: 2024-11-03
基本信息
合作方式：
技术许可
成果类型：
发明专利,实用新型专利
行业领域：
新材料产业,先进无机非金属材料
成果介绍
透明导电氧化物（TCO）是光电及光伏薄膜器件的重要组成部分，作为透明
电极广泛应用于大面积平板显示屏、薄膜太阳电池、LED照明系统及智能窗玻璃
等中。它采用ITO玻璃（TCO的一种）为基片材料制作的LCD显示器具有体积小
、厚度薄、质量轻、能耗少、无污染、无辐射、无散热影响等优点。在多数情况
下其有效厚度远大于这些薄膜器件功能层的总厚度，在大面积器件中占有较高的
材料比重。现有联系电话、大面积显示器使用的TCO材料主要是铟锡氧化物，由
于依赖稀缺金属铟，不适用于大面积应用。发展无铟TCO是光电信息领域目前国
际前沿发展的重要方向之一。开发完全自主知识产权的无铟透明导电氧化物（T
CO）材料及其关键制造装备，从而取代对稀缺金属铟的依赖，打破日韩技术垄
断，势在必行。欧洲已经通过“欧盟框架”、“地平线计划”等大力推进无铟TCO材料及制备技术产业化进程。
成果亮点
新型TCO材料应用领域广泛：（1）半导体照明应用；（2）薄膜太阳能光伏
应用；（3）节能窗玻璃应用；（4）其他方面应用，如电磁屏蔽、透明加热等，广
泛应用军事的激光测距、战斗机防护玻璃。新型的无铟ＴＣＯ材料具备以下突出
优点：（1）使用基于低成本氧化物的无铟材料体系。（2）低成本，长寿命。（3）
结合了新的生产技术，生产效率提高50倍以上，导电率增加5倍，透明率增加10
倍，靶材利用率高于90%。（4）适合高速率，高质量，大面积生产。（5）拥有高质量薄膜生产设备制造技术：高密度等离子体溅射设备。是真正的可持续性材料和连续制造技术。
团队介绍
郑州大学（简称郑大，英文简称：ZZU）由河南省人民政府 兴办，法定住所地为河南省郑州市科学大道100号。郑州大学是 国家“211工程”重点建设高校、一流大学建设高校和“部省合 建”高校。站在新的历史起点上，学校确立了综合性研究型的办 学定位，提出了一流大学建设“三步走”发展战略，力争到本世 纪中叶建成世界一流综合性研究型大学。
成果资料
产业化落地方案
成果综合评价报告
评价单位：- (-) 评价时间：2024-11-04
杜晓伟
包头市盈辉企业管理服务有限公司
中级技术经纪人
综合评价
TCO薄膜的智能设计和关键装备技术是一项具有极高创新性和实用价值的科技成果。该技术在TCO薄膜制备领域取得了重要突破，为光电及光伏薄膜器件的制备提供了更加可靠的材料基础。评价专家组建议，应进一步加大对该技术的研发和推广力度，加强产学研合作，推动其在更多领域的应用和发展。同时，也应关注TCO薄膜的长期稳定性和环境适应性，确保其在实际应用中的可靠性和经济性。通过持续的技术创新和优化，相信该技术将为光电及光伏产业的可持续发展做出重要贡献。
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