科创中国
高分子材料的激光表面赋能研究
发布时间: 2024-08-09
基本信息
合作方式：
技术转让
成果类型：
发明专利
行业领域：
新材料技术,高分子材料
成果介绍
基于团队自主研发的激光精净制造新技术及装备，实现了大尺寸（6英寸以上）第三代半导体碳化硅衬底表面处理，一方面去除机械加工缺陷层，另一方面活化表面组织组分，将高硬、致密SiC单晶转变为由疏松多晶/非晶SiO2等活化改性层，从而将后续CMP效率提升10倍以上，有效解决碳化硅晶圆制造痛点，为后续外延生长提供高质量平坦表面。
本技术进一步拓展应用到个性化口腔医疗器械领域，实现了定制金属口腔器械高品质制造。比起现有3D打印技术，新技术将产品表面粗糙度和轮廓高度均降低了98%以上（Ra＜*** μm），完全替代目前人工打磨抛光工序（6-8步），显著降低综合成本（20-30%），并有效提升产品表面性能（硬度提高16%以上），为企业产品高效赋能。
成果亮点
比起现有3D打印技术，新技术将产品表面粗糙度和轮廓高度均降低了98%以上（Ra＜*** μm），完全替代目前人工打磨抛光工序（6-8步），显著降低综合成本（20-30%），并有效提升产品表面性能（硬度提高16%以上），为企业产品高效赋能。
团队介绍
北京航空航天大学（Beihang University），简称北航（BUAA），位于中国首都北京市，隶属于中华人民共和国工业和信息化部，中央直管高校 ，中国第一所航空航天高等学府，具有航空、航天和信息领域的发展比较优势。 是国家重点建设的高校、全国第一批16所重点高校之一、211工程、985工程建设高校、国家“双一流”建设高校。
截至2024年5月，学校学院路校区、沙河校区、杭州国际校园总占地面积约4000亩；学校有在校生37706人，教职工6155人；设有40个教学科研机构， 80个本科专业；有36个硕士学位授权一级学科点，34个博士学位授权一级学科点，26个博士后科研流动站。
成果资料
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