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一种半导体电热膜质量检测装置

发布时间: 2024-07-26

基本信息

合作方式： 技术服务
成果类型： 发明专利
行业领域：
新材料技术
成果介绍
一种半导体电热膜质量检测装置，用于对半 导体电热膜进行形变检测，包括电热膜固定组 件、电热膜形变控制组件和控制台底座，所述电 热膜固定组件和电热膜形变控制组件设于控制 台底座上，所述电热膜形变控制组件与控制台底 座之间转动连接，所述电热膜固定组件用于对半 导体电热膜进行固定，所述电热膜形变控制组件 转动时使半导体电热膜发生形变，通过限定电热 膜形变控制组件的转动角度可以控制半导体电 热膜每次发生形变时的形变量，提高了半导体电 热膜的检测效率。
成果亮点
通过限定电热膜形变控制组件的转动角度可以控制半导体电热膜每次发生形变时的形变量，提高了半导体电热膜的检测效率。
团队介绍
中熵科技（徐州）有限公司
成果资料