您所在的位置: 成果库 干泵抽气系统升级改造创新项目

干泵抽气系统升级改造创新项目

发布时间: 2024-07-24

基本信息

合作方式： 技术许可
成果类型： 发明专利
行业领域：
新能源及节能技术
成果介绍
客户现场设备为早期TDR120炉，抽气系统及泵组配置都比较小，不能满足N型硅片低炉压、大氩气流量和高功率抽速工况工艺要求。客户原生产设备在此工艺下连续加料只能达到90～120小时左右就会由于挥发物堆积导致炉压上涨非常严重，不能连续继续生产，这样就造成了坩埚、能耗等巨大浪费，生产效率较低，成本居高不下，因此客户对前期项目设备有急切的改造需求。 我方根据需求进行开发设计，对设备干泵抽气系统进行了升级改造。通过方案改造之后，拉晶时长由原90～120小时可延至400小时以上，提升至少445%；由原来可生产单晶3、4根增加至8、9根，生产效率提升至少260%，拉晶至第七、八根时，炉压依然非常稳定，节流阀开度在可控范围内，单晶氧含量、断线率大幅降低，已经能够满足客户N型的拉晶工艺要求，提高了坩埚利用率，大大降低材料损耗和生产成本，为客户带来极大经济效益。 在前期实验及多次验证之后，提升效果显著
成果亮点
本创新应用于单晶炉生产设备，是应客户要求对原设备进行升级改造，具体是对干泵抽气系统的电机、干式真空泵、电气控制系统、进排气口、机械结构等方面的进一步升级改造，使系统性能进一步提升。 原有基础上升级电机，增加了触屏式电气系统，操作更加方便；进排气口降低排气温度，降低密封老化速率；增加机械支撑结构，延长机器稳定性及使用寿命；对干式真空泵型号升级，抽速提升至22000L/min，对电控系统升级，增加抽气速率，并增加冷却装置，保证运行温度和散热。
团队介绍
张永超 西安创联新能源设备有限公司 技术副部长/助理工程师 颜宇豪 西安创联新能源设备有限公司 工程师/助理工程师电气 吕腾飞 西安创联新能源设备有限公司 电气工程师/助理工程师
成果资料