科创中国
多元功能氧化物薄膜电子器件制备与集成关键技术
发布时间: 2024-05-11
基本信息
合作方式：
技术转让
成果类型：
发明专利
行业领域：
新能源及节能技术
成果介绍
发展了基于化学溶液的高分子辅助沉积方法，不仅可以在基片上生长性能稳定的多元氧化物的外延薄膜，实现多元氧化物薄膜组分的精确调控，更有利于产业中生产成本的大幅度降低。
成果亮点
在此基础上解决了多价态金属氧化物生长中的控氧难题，采用这一适合于产业化的技术制备了大面积高质量可控掺杂的二氧化钒薄膜，性能指标达到国际领先水平。
团队介绍
联系人： 庄老师
电话：15295039286
单位名称： 武进区科技成果转移中心
成果资料
下载app