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本实用新型公开了一种回收系统，涉及机械工程领域，达到了对废气中的氯硅烷进行回收再利用的目的。本实用新型的主要技术方案为：一种回收系统，包括：罐体，具有相对的第一端和第二端，包括进气口和出气口，进气口设置在第一端，出气口设置在第二端；进气口用于进入废气；罐体内设有喷淋器，喷淋器设置在第一端和第二端之间，并朝向第一端；第一端设有第一出液口；喷淋器喷淋吸收液，吸收液用于吸收废气中的氯硅烷；冷凝装置，包括冷凝罐和冷凝管道，冷凝管道设置在冷凝罐中，冷凝管道的一端连接于出气口，另一端用于排出气体；冷凝管道底部设有第二出液口，用于收集氯硅烷液体；冷凝罐用于存放冷凝介质。本实用新型主要用于从废气中分离回收氯硅烷。

[0003]有鉴于此，本实用新型实施例提供一种回收系统，主要目的是对废气中的氯硅烷进行回收再利用。 [0004]为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案： [0005]本实用新型实施例提供了一种回收系统，包括： [0006]罐体，具有相对的第一端和第二端，包括进气口和出气口，所述进气口设置在所述第一端，所述出气口设置在所述第二端；所述进气口用于进入废气；所述罐体内设有喷淋器，所述喷淋器设置在所述第一端和所述第二端之间，并朝向所述第一端；所述第一端设有第一出液口；所述喷淋器喷淋吸收液，吸收液用于吸收废气中的氯硅烷； [0007]冷凝装置，包括冷凝罐和冷凝管道，所述冷凝管道设置在所述冷凝罐中，所述冷凝管道的一端连接于所述出气口，另一端用于排出气体；所述冷凝管道底部设有第二出液口，用于收集氯硅烷液体；所述冷凝罐用于存放冷凝介质。 [0008]进一步的，所述冷凝管道在所述冷凝罐中盘旋设置。 [0009]进一步的，还包括液位传感器，所述液位传感器为两个，分别设置在所述第一出液口和所述第二出液口，分别设置第一预设值和第二预设值；

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