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制造业,专用设备制造业

本实用新型涉及硅单晶生产技术领域，具体涉及一种用于区熔法拉制硅单晶的支撑装置。主要技术方案为：一种用于区熔法拉制硅单晶的支撑装置，包括:夹持本体和转轴；所述夹持本体具有上端开口的圆柱状的容腔，用于支撑原料棒；所述夹持本体为氮化硅材料；所述夹持本体上设置有螺纹孔；所述螺纹孔沿所述容腔的径向设置；所述螺纹孔为多个；多个所述螺纹孔沿所述容腔的圆周方向均匀分布；所述转轴固定地设置在所述夹持本体的底部，与所述容腔同轴设置。采用本实用新型使支撑装置能够耐高温，提高其可靠性，进而提高拉制硅单晶过程的可靠性。

[0004]有鉴于此，本实用新型提供一种用于区熔法拉制硅单晶的支撑装置，主要目的在于使支撑装置能够耐高温，提高其可靠性，进而提高拉制硅单晶过程的可靠性。 [0005]为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案： [0006]本实用新型的实施例提供一种用于区熔法拉制硅单晶的支撑装置，包括:夹持本体和转轴； [0007]所述夹持本体具有上端开口的圆柱状的容腔，用于支撑原料棒；所述夹持本体为氮化硅材料； [0008]所述夹持本体上设置有螺纹孔；所述螺纹孔沿所述容腔的径向设置；所述螺纹孔为多个；多个所述螺纹孔沿所述容腔的圆周方向均匀分布； [0009]所述转轴固定地设置在所述夹持本体的底部，与所述容腔同轴设置。 [0010]进一步地，所述夹持本体上设置有导向槽； [0011]所述导向槽沿所述容腔的径向设置； [0012]所述导向槽与所述螺纹孔连通。 [0013]进一步地，还包括：卡锁构件； [0014]所述卡锁构件与所述夹持本体通过所述螺纹孔螺纹连接，用于夹持所述容腔内的原料棒。

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