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本实用新型公开了一种氯硅烷渣浆回收系统，涉及多晶硅加工技术领域，主要目的是提供一种能够提高氯硅烷的回收效率的氯硅烷渣浆回收系统。本实用新型的主要技术方案为：一种氯硅烷渣浆回收系统，包括：干燥分离部，分离单元连接于氯硅烷渣浆输送装置，固液处理单元连接于分离单元，过滤单元连接于分离单元，用于接收并过滤分离单元分离出的氯硅烷混合气体；气体处理部，淋洗鼓泡单元的一端连接于过滤单元，另一端连接于冷凝单元，冷凝单元连接于液体回收单元，液体回收单元连接于淋洗鼓泡单元和合成单元，用于分别向鼓泡单元和合成单元输送氯硅烷液体；尾气处理部，尾气处理部连接于冷凝单元，用于回收尾气。本实用新型主要用于回收氯硅烷。

[0004]有鉴于此，本实用新型实施例提供一种氯硅烷渣浆回收系统，主要目的是提供一种能够提高氯硅烷的回收效率的氯硅烷渣浆回收系统。 [0005]为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案： [0006]本实用新型实施例提供了一种氯硅烷渣浆回收系统，该系统包括： [0007]干燥分离部，所述干燥分离部包括分离单元、固液处理单元和过滤单元，所述分离单元连接于氯硅烷渣浆输送装置，用于接收氯硅烷渣浆，所述固液处理单元连接于所述分离单元，用于接收所述分离单元分离出的固体和液体，所述过滤单元连接于所述分离单元，用于接收并过滤所述分离单元分离出的氯硅烷混合气体； [0008]气体处理部，所述气体处理部包括淋洗鼓泡单元、冷凝单元、液体回收单元和合成单元，所述淋洗鼓泡单元的一端连接于所述过滤单元，另一端连接于所述冷凝单元，用于淋洗氯硅烷混合气体，所述冷凝单元连接于所述液体回收单元，用于冷凝氯硅烷气体，并向所述液体回收单元输送氯硅烷液体，所述液体回收单元连接于所述淋洗鼓泡单元和合成单元，用于分别向鼓泡单元和合成单元输送氯硅烷液体；

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