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一种测量微米厚度薄膜法向热扩散系数的方法和装置
发布时间: 2023-11-17
基本信息
合作方式：
技术服务
成果类型：
发明专利
行业领域：
物理
成果介绍
本发明公开了一种测量微米厚度薄膜法向热扩散系数的方法和装置，装置依次包括用于发射纳秒级脉冲激光能量的调Q激光器、样品架、抛物面反射镜、红外探测器、放大器和示波器。测试原理为：将微米厚度薄膜样品平铺固定于样品架上，使样品前后表面均无遮挡暴露；采用纳秒脉冲激光器照射加热样品前表面，采用红外探测器探测样品上位于光斑中心位置的后表面温度的变化，从而量化热量在样品厚度方向上的传播速度，也即衡量样品的法向热扩散系数。本发明保护方法和装置能够快速经济和有效地测量微米厚度薄膜材料的法向热扩散系数，以弥补现有仪器或系统无法覆盖或测试较为复杂的缺点。
成果亮点
1.一种测量微米厚度薄膜法向热扩散系数的装置，其特征在于，依次包括用于发射纳秒级脉冲激光能量的调Q激光器、样品架、抛物面反射镜、红外探测器、放大器和示波器。
2.根据权利要求1所述的测量微米厚度薄膜法向热扩散系数的装置，其特征在于，所述用于发射纳秒级脉冲激光能量的调Q激光器用于加热样品前表面；
优选地，所述用于发射纳秒级脉冲激光能量的调Q激光器的脉冲宽度可调，脉冲功率根据所测样品的厚度、光吸收能力以及其导热性能优劣来调整。
3.根据权利要求1所述的测量微米厚度薄膜法向热扩散系数的装置，其特征在于，所述样品架用于平铺固定样品，固定后的样品前后两个表面无遮挡暴露；
优选地，所述样品架位置可调节。
团队介绍
中国科学院深圳先进技术研究院提升了粤港地区及我国先进制造业和现代服务业的自主创新能力，推动我国自主知识产权新工业的建立，成为国际一流的工业研究院。 深圳先进院目前已初步构建了以科研为主的集科研、教育、产业、资本为一体的微型协同创新生AC态系统，由九个研究平台，国科大深圳先进技术学院，多个特色产业育成基地、多支产业发展基金、多个具有独立法人资质的新型专业科研机构等组成。开展先进技术研究，促进科技发展。信息、电子、通讯技术研究新材料、新能源技术研究高性能计算、自动化、精密机械研究生物医学与医疗仪器研究相关学历教育、博士后培养与学术交流。
成果资料
产业化落地方案
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