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图形衬底方法外延生长半/非极性面三族氮化物薄膜

发布时间: 2023-11-14

来源: 试点城市（园区）

基本信息

合作方式： 技术转让
成果类型： 发明专利
行业领域：
新材料技术,高新技术改造传统产业
成果介绍
传统的极性方向氮化物照明器件由于内建极化电场的限制，在黄绿光波段、大功率场景下的性能表现还需进一步提高，沿半/非极性方向外延生长的氮化物器件可以有效抑制，甚至是消除内建电场的影响，有助于解决绿光间隙（green gap）这一照明领域的难题。
成果亮点
对此，我们展开了在图形化衬底上，利用金属有机化学气相沉淀（MOCVD）技术外延生长三族氮化物材料的研究。最终在2英寸的蓝宝石衬底上沉积了半极性方向（11-22）面和非极性面（11-20）的氮化镓外延片，线性位错密度~108cm-2，面位错密度~104cm-1。相关信息详见网站（http://www.serenphotonics.com）。与此同时，我们还积累了一系列的微纳加工工艺经验，以应对半导体领域的光刻、刻蚀和沉积等问题。
团队介绍
联系人： 庄仙竹 电话：15295039286 单位名称： 武进区科技成果转移中心
成果资料