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物理

一种超窄高密度多相对独立通道的柔性电极及其制备方法和应用，属于传感器技术领域。本发明方法包括：(1)晶圆硅片旋涂牺牲层，烘干成膜；(2)旋涂弹性体溶液烘干；(3)柔性基底上贴掩模板后溅射或蒸镀金属导电膜，得到具有导电通路的柔性电极；(4)将电极两端的金属膜遮盖，将弹性体溶液稀释液均匀旋涂在未遮盖区域，烘干，或将稀释液烘干成膜后贴合在电极表面；(5)对电极进行切割，从晶圆硅片上释放，将用于检测的一端多余基底切除，制备得到超窄高密度多相对独立通道的柔性电极。本发明制备的柔性电极导通性良好且可重复性高，通道数量多，电极各通道检测端相对独立，可同时检测不同位点的生理电信号，贴合机体而不产生相对滑移。

1.一种超窄高密度多相对独立通道的柔性电极的制备方法，其特征在于包括以下步骤： (1)取晶圆硅片表面旋涂一层牺牲层，烘干成膜； (2)旋涂一层弹性体溶液，烘干得到柔性基底； (3)在步骤(2)得到的柔性基底上贴掩模板后，置于磁控溅射或蒸镀设备中溅射或蒸镀金属导电膜，得到具有导电通路的柔性电极； (4)将步骤(3)得到的柔性电极两端的金属膜遮盖，将弹性体溶液稀释液均匀旋涂在除上述遮盖外的未遮盖区域，去除遮盖层，烘干得到具有绝缘层的柔性电极； 或者，取硅片旋涂牺牲层，再旋涂一层弹性体溶液稀释液，烘干释放后得到薄膜，通过自粘贴附在具有导电通路的柔性电极的基底上，得到具有绝缘层的柔性电极； (5)用飞秒激光切割机对步骤(4)得到的柔性电极进行切割，从晶圆硅片上释放，将用于检测的一端多余基底切除，制备得到超窄高密度多相对独立通道的柔性电极。

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