科创中国
基于反应离子刻蚀的柔性可拉伸金膜电极及其制备方法
发布时间: 2023-11-09
基本信息
合作方式：
技术服务
成果类型：
发明专利
行业领域：
物理
成果介绍
本申请公开了一种基于反应离子刻蚀的柔性可拉伸金膜电极及其制备方法，涉及电极材料技术领域。制备方法包括以下步骤：在经过反应离子刻蚀工艺处理后的高分子柔性基底表面磁控溅射一层金薄膜；其中，金薄膜的厚度为10‑40纳米，金薄膜具有微米和/或纳米尺度的裂纹结构。本申请用于提高柔性金膜电极的可拉伸性能。
成果亮点
1.一种基于反应离子刻蚀的柔性可拉伸金膜电极的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：在经过反应离子刻蚀工艺处理后的高分子柔性基底的表面磁控溅射一层金薄膜；其中，所述金薄膜的厚度为10-40纳米，所述金薄膜具有微米和/或纳米尺度的裂纹结构。
2.根据权利要求1所述的一种基于反应离子刻蚀的柔性可拉伸金膜电极的制备方法，其特征在于，所述高分子柔性基底为SEBS高分子基底。
3.根据权利要求1所述的一种基于反应离子刻蚀的柔性可拉伸金膜电极的制备方法，其特征在于，所述裂纹结构为琐碎的岛状。
4.根据权利要求2所述的一种基于反应离子刻蚀的柔性可拉伸金膜电极的制备方法，其特征在于，具体包括以下步骤：
步骤1：将SEBS溶液旋涂在基片上，静置至其挥发成膜，得到SEBS高分子基底；
步骤2：利用反应离子刻蚀工艺对SEBS高分子基底表面进行刻蚀；
步骤3：将金属掩膜版贴在经过刻蚀处理后的SEBS高分子基底的表面，并在其表面上磁控溅射一层金薄膜，所述金薄膜的厚度为10-40纳米，所述金薄膜具有微米和/或纳米尺度的裂纹结构，且所述裂纹结构为琐碎的岛状；
团队介绍
中国科学院深圳先进技术研究院提升了粤港地区及我国先进制造业和现代服务业的自主创新能力，推动我国自主知识产权新工业的建立，成为国际一流的工业研究院。 深圳先进院目前已初步构建了以科研为主的集科研、教育、产业、资本为一体的微型协同创新生AC态系统，由九个研究平台，国科大深圳先进技术学院，多个特色产业育成基地、多支产业发展基金、多个具有独立法人资质的新型专业科研机构等组成。开展先进技术研究，促进科技发展。信息、电子、通讯技术研究新材料、新能源技术研究高性能计算、自动化、精密机械研究生物医学与医疗仪器研究相关学历教育、博士后培养与学术交流。
成果资料
下载app