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一种复合材料及其制作方法、半导体封装结构
发布时间: 2023-11-09
基本信息
合作方式：
技术服务
成果类型：
发明专利
行业领域：
新材料技术
成果介绍
本申请涉及材料技术领域，公开了一种复合材料及其制作方法、半导体封装结构。该复合材料包括多孔金属材料和多孔金属材料中孔结构内壁上的金属氧化物壳结构，该制作方法包括对多孔金属材料进行氧化处理以得到具有金属‑金属氧化物核壳结构的复合材料，该半导体封装结构包括使用该复合材料制成的接头。将上述材料、方法、结构用于半导体互连工艺，可以有效提高多孔铜互连结构的力学性能和服役可靠性，简化生产流程，降低生产成本，有利于促进工业大规模生产。
成果亮点
1.一种复合材料，其特征在于，所述复合材料包括多孔金属材料，所述多孔金属材料包括多个孔结构，所述孔结构内壁包括金属氧化物壳结构。
2.根据权利要求1所述的复合材料，其特征在于，
所述复合材料包括中心部分和包裹所述中心部分的外层部分，所述外层部分的所述孔结构内壁包括所述金属氧化物壳结构。
3.根据权利要求1或2所述的复合材料，其特征在于，
所述金属为铜，所述金属氧化物包括氧化铜或氧化亚铜中的至少一种。
4.一种复合材料的制作方法，其特征在于，
提供一多孔金属材料，所述多孔金属材料包括多个孔结构；
对所述多孔金属材料进行氧化处理，以在所述孔结构的内壁形成金属氧化物壳结构。
团队介绍
中国科学院深圳先进技术研究院提升了粤港地区及我国先进制造业和现代服务业的自主创新能力，推动我国自主知识产权新工业的建立，成为国际一流的工业研究院。 深圳先进院目前已初步构建了以科研为主的集科研、教育、产业、资本为一体的微型协同创新生AC态系统，由九个研究平台，国科大深圳先进技术学院，多个特色产业育成基地、多支产业发展基金、多个具有独立法人资质的新型专业科研机构等组成。开展先进技术研究，促进科技发展。信息、电子、通讯技术研究新材料、新能源技术研究高性能计算、自动化、精密机械研究生物医学与医疗仪器研究相关学历教育、博士后培养与学术交流。
成果资料
产业化落地方案
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