微细电解线切割加工

简介采用微米尺度线电极作为工具阴极，利用超短脉冲电源，通过简单的二维进给运动，实现微米尺度三维结构和零件的加工。该技术已用于某新型航空加速度传感器中重要弹性敏感元件的加工，并实现批量生产。

该元件中部有一个微槽，槽宽***，槽底壁厚***，要求加工完成后微槽侧壁和底面之间的倒角半径R<***，在长度方向上翘曲变形小于***。采用微细电解线切割加工技术批量生产的弹性元件精度高，翘曲变形小，表面无裂纹毛刺和重铸层，提高了加速度传感器的精度和使用寿命，解决了弹性元件高精加工的难题，装配后的传感器达到了一级表的精度，并装备到某新型直升机。

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