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电容器及其制备方法
发布时间: 2023-11-03
基本信息
合作方式：
技术服务
成果类型：
发明专利
行业领域：
电子信息技术
成果介绍
本发明公开了一种电容器及其制备方法，涉及工业电子元器件领域。所述电容器包括电极层和电介质层，电极层包括底电极层和顶电极层，底电极层，位于底部，由具有良好导电性且强关联体系特性的金属氧化物薄膜构成；电介质层，位于底电极层上，由具有高介电常数且良好绝缘性的金属氧化物薄膜构成；顶电极层，位于电介质层上，由具有强导电性且高稳定性的金属构成。本发明针对现有技术存在的缺陷，实现了一种电容器，其厚度为亚微米量级，其电容值可数倍于几何电容值，实现了小型化和高电容值。
成果亮点
1.一种电容器，所述电容器包括电极层和电介质层，所述电极层包括底电极层和顶电极层，其特征在于，其中，
所述底电极层，位于底部，由具有良好导电性且强关联体系特性的金属氧化物薄膜材料构成；
所述电介质层，位于底电极层上，由具有高介电常数且良好绝缘性的金属氧化物薄膜材料构成；
所述顶电极层，位于电介质层上，由具有强导电性且高稳定性的金属材料构成。
2.如权利要求1所述的电容器，其特征在于，所述具有良好导电性且强关联体系特性的金属氧化物薄膜材料包括：三氧化镍镧(LaNiO3)、三氧化钌锶(SrRuO3)、铌(Nb)掺杂的三氧化钛锶(SrTiO3)。
3.如权利要求1所述的电容器，其特征在于，所述具有高介电常数且良好绝缘性的金属氧化物薄膜材料包括：三氧化铝镧(LaAlO3)、二氧化锆(ZrO2)、二氧化铪(HfO2)、三氧化二镧(La2O3)、一氧化钡(BaO)、二氧化钛(TiO2)、五氧化二钽(Ta2O5)。
团队介绍
中国科学院深圳先进技术研究院提升了粤港地区及我国先进制造业和现代服务业的自主创新能力，推动我国自主知识产权新工业的建立，成为国际一流的工业研究院。 深圳先进院目前已初步构建了以科研为主的集科研、教育、产业、资本为一体的微型协同创新生AC态系统，由九个研究平台，国科大深圳先进技术学院，多个特色产业育成基地、多支产业发展基金、多个具有独立法人资质的新型专业科研机构等组成。开展先进技术研究，促进科技发展。信息、电子、通讯技术研究新材料、新能源技术研究高性能计算、自动化、精密机械研究生物医学与医疗仪器研究相关学历教育、博士后培养与学术交流。
成果资料
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