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太赫兹测量装置及系统
发布时间: 2023-11-03
基本信息
合作方式：
技术服务
成果类型：
发明专利
行业领域：
物理
成果介绍
本申请实施例提供了一种太赫兹测量装置及系统，涉及光谱成像技术领域。其中，该装置包括：包括本体、安装在本体顶部的发射模块和接收模块、安装在本体第一侧部的光学扫描模块、安装在本体第二侧部的示踪激光模块、以及安装在本体底部的传感器模块，其中，在停止发射模块发射太赫兹光时，示踪激光模块发射示踪激光并传输至待测样品，形成激光测量区域，示踪激光的中心与太赫兹光的中心共轴；光学扫描模块按照参考扫描路径对激光测量区域进行扫描，以实现待测样品表面的模型重建；通过待测样品表面的模型和传感器模块检测到的距离，实现参考扫描路径的修正。本申请实施例解决了相关技术中存在的难以实现高精度的太赫兹测量的问题。
成果亮点
1.一种太赫兹测量装置，其特征在于，所述装置包括本体、安装在所述本体顶部的发射模块和接收模块、安装在所述本体第一侧部的光学扫描模块、安装在所述本体第二侧部的示踪激光模块、以及安装在所述本体底部的传感器模块，其中，
在停止所述发射模块发射太赫兹光时，所述示踪激光模块发射示踪激光并传输至待测样品，形成激光测量区域，所述示踪激光的中心与所述太赫兹光的中心共轴；
所述光学扫描模块按照参考扫描路径对所述激光测量区域进行扫描，以实现所述待测样品表面的模型重建；
通过所述待测样品表面的模型和所述传感器模块检测到的距离，实现所述参考扫描路径的修正，所述距离是指所述太赫兹测量装置相对于所述待测样品表面的距离。
2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述发射模块包括太赫兹发射器、第一抛面镜和第二抛面镜，其中，
太赫兹光由所述太赫兹发射器发射，经所述第一抛面镜、所述第二抛面镜传输至所述待测样品；
示踪激光透过所述第一抛面镜的中心，使得所述示踪激光的中心与所述太赫兹光的中心共轴，并经所述第二抛面镜传输至所述待测样品。
团队介绍
中国科学院深圳先进技术研究院提升了粤港地区及我国先进制造业和现代服务业的自主创新能力，推动我国自主知识产权新工业的建立，成为国际一流的工业研究院。 深圳先进院目前已初步构建了以科研为主的集科研、教育、产业、资本为一体的微型协同创新生AC态系统，由九个研究平台，国科大深圳先进技术学院，多个特色产业育成基地、多支产业发展基金、多个具有独立法人资质的新型专业科研机构等组成。开展先进技术研究，促进科技发展。信息、电子、通讯技术研究新材料、新能源技术研究高性能计算、自动化、精密机械研究生物医学与医疗仪器研究相关学历教育、博士后培养与学术交流。
成果资料
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