科创中国
一种用于填充高密度封装结构的纳米孪晶铜电镀液、镀层及其制备方法和应用
发布时间: 2023-11-02
基本信息
合作方式：
技术服务
成果类型：
发明专利
行业领域：
物理
成果介绍
一种用于填充高密度封装结构的纳米孪晶铜电镀液、镀层及其制备方法和应用，属于集成电路封装和印制线路板制造技术领域。本发明纳米孪晶铜电镀液包括：铜离子30～50g/L，硫酸100～150g/L，氯离子50～100ppm，关键图形化添加剂5～200ppm，孪晶促进剂20～200ppm，余量为纯水。提供了采用该电镀液电镀制备得到镀层及其应用。本发明电镀液通过改变关键图形化添加剂SH110含量，可以获得等轴晶以及柱状晶纳米孪晶两种组织。电镀液不仅提高了纳米孪晶组织图形填充的均匀性和平整性，适用于晶圆级电镀所涉及的8寸或12寸大面积均匀填充，还减小了纳米孪晶组织过渡层厚度，适用于尺寸小的精细图形填充。
成果亮点
1.一种用于填充高密度封装结构的纳米孪晶铜电镀液，其特征在于包括以下组分：铜离子30～50g/L，硫酸100～150g/L，氯离子50～100ppm，关键图形化添加剂5～200ppm，孪晶促进剂20～200ppm，余量为纯水。
2.如权利要求1所述的纳米孪晶铜电镀液，其特征在于所述关键图形化添加剂包括噻唑啉基二硫代丙烷磺酸钠或具有相似官能团的3-巯基-1-丙磺酸钠和四氢噻唑硫酮的混合物。
3.如权利要求1所述的纳米孪晶铜电镀液，其特征在于所述铜离子包括五水硫酸铜，所述硫酸包括96％～98％浓硫酸的稀释液，所述氯离子包括36％～38％浓盐酸的稀释液、氯化钠或氯化钾，所述孪晶促进剂包括明胶。
4.一种用于填充高密度封装结构的纳米孪晶铜镀层，其特征在于采用如权利要求1-3任一所述的纳米孪晶铜电镀液电镀制备得到。
团队介绍
中国科学院深圳先进技术研究院提升了粤港地区及我国先进制造业和现代服务业的自主创新能力，推动我国自主知识产权新工业的建立，成为国际一流的工业研究院。 深圳先进院目前已初步构建了以科研为主的集科研、教育、产业、资本为一体的微型协同创新生AC态系统，由九个研究平台，国科大深圳先进技术学院，多个特色产业育成基地、多支产业发展基金、多个具有独立法人资质的新型专业科研机构等组成。开展先进技术研究，促进科技发展。信息、电子、通讯技术研究新材料、新能源技术研究高性能计算、自动化、精密机械研究生物医学与医疗仪器研究相关学历教育、博士后培养与学术交流。
成果资料
产业化落地方案
下载app