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一种生成准无衍射光片的光瞳掩模及其优化设计方法
发布时间: 2023-10-30
基本信息
合作方式：
技术服务
成果类型：
发明专利
行业领域：
物理
成果介绍
本发明涉及一种生成薄而宽光片的光瞳掩模及其优化设计方法。薄而宽的光片对于具有大视场和近衍射极限分辨率的光片显微镜至关重要。无衍射光片的跨度范围很宽，但通常带有强旁瓣或增加的厚度。我们发展了一种数值优化方法来设计光瞳掩模以生成薄而宽的光片。该方法平衡了光片厚度、无衍射范围和旁瓣之间的矛盾。我们在理论和实验上表明，优化的掩模将静态光片的无衍射范围扩大了50％，同时使其旁瓣低于20％。据此生成的新型静态光片可以在不牺牲轴向分辨率的情况下，对样品进行更大视野成像。
成果亮点
.一种生成准无衍射光片的光瞳掩模的优化设计方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1.根据生成准无衍射光片的光学系统参数要求，确定光瞳掩模的结构和待求解的结构参数；
S2.建立综合考虑光片厚度、无衍射范围和旁瓣强度的评价函数；
S3.利用粒子群算法搜索所述评价函数的全局最小值，得到对应的全局最优解；
由所述全局最优解获取所述待求解的结构参数。
团队介绍
中国科学院深圳先进技术研究院提升了粤港地区及我国先进制造业和现代服务业的自主创新能力，推动我国自主知识产权新工业的建立，成为国际一流的工业研究院。 深圳先进院目前已初步构建了以科研为主的集科研、教育、产业、资本为一体的微型协同创新生AC态系统，由九个研究平台，国科大深圳先进技术学院，多个特色产业育成基地、多支产业发展基金、多个具有独立法人资质的新型专业科研机构等组成。开展先进技术研究，促进科技发展。信息、电子、通讯技术研究新材料、新能源技术研究高性能计算、自动化、精密机械研究生物医学与医疗仪器研究相关学历教育、博士后培养与学术交流。
成果资料
产业化落地方案
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