科创中国
非均匀掺杂场效应晶体管器件
发布时间: 2023-10-24
基本信息
合作方式：
技术转让
成果类型：
发明专利
行业领域：
高技术服务业
成果介绍
本申请公开了一种非均匀掺杂场效应晶体管器件,用于解决现有技术场效应晶体管短沟道效应的问题,该场效应晶体管器件设置为当器件开启时,沟道区域内形成有有效沟道、以及至少在沟道区域的厚度方向上远离有效沟道的等效源区和/或等效漏区,场效应晶体管器件通过有效沟道、等效源区以及等效漏区连通源极区域和漏极区域以贡献工作电流;其中,在沟道区域靠近有效沟道的方向上:第一区域中至少部分的掺杂浓度逐渐降低;和/或,第二区域中至少部分的掺杂浓度逐渐升高;和/或,第三区域中至少部分的掺杂浓度逐渐降低;和/或,在源极区域指向漏极区域的方向上:第三区域中至少部分的掺杂浓度逐渐降低。
成果亮点
本申请的目的在于提供一种场效应晶体管器件，其用于解决现有技术场效应晶体管短沟道效应的问题。
为实现上述目的，本申请提供了一种非均匀掺杂场效应晶体管器件，包括有源层，所述有源层包括源极区域、漏极区域以及位于所述源极区域和漏极区域之间的沟道区域；
当器件开启时，所述沟道区域内形成有有效沟道、以及至少在所述沟道区域的厚度方向上远离所述有效沟道的等效源区和/或等效漏区，所述场效应晶体管器件通过所述有效沟道、等效源区以及等效漏区连通所述源极区域和漏极区域以贡献工作电流；
团队介绍
发明人：
王明湘 郭烨烨 张冬利 王槐生 苏州大学坐落于素有“人间天堂”之称的历史文化名城苏州，是国家“211工程”“2011计划”首批入列高校，是教育部与江苏省人民政府共建“双一流”建设高校、国家航天局共建高校，是江苏省属重点综合性大学。苏州大学前身是Soochow University（东吴大学，1900年创办），开现代高等教育之先河，融中西文化之菁华，是中国最早以现代大学学科体系举办的大学。在中国高等教育史上，东吴大学是最早开展研究生教育并授予硕士学位、最先开展法学（英美法）专业教育，也是第一家创办学报的大学。1952年中国大陆院系调整，由东吴大学之文理学院、苏南文化教育学院、江南大学之数理系合并组建苏南师范学院，同年更名为江苏师范学院。1982年，学校更复名苏州大学（Soochow University）。
成果资料
产业化落地方案
成果综合评价报告
评价单位：- (-) 评价时间：2023-11-14
刘全
苏州大学
教授
综合评价
与现有技术相比，本申请的实施方式中，通过将器件设置成在开启时，能够于沟道区域中形成有效沟道、以及沟道区域厚度方向上远离有效沟道的等效源区和等效漏区，从而连通源极区域和漏极区域以贡献工作电流；这样，与漏极(源极)区域连通的等效漏区(源极)在结构上远离有效沟道，可以减小漏端电压对有效沟道的影响；并减小了器件饱和工作时漏端耗尽区内的峰值内建电场，从而抑制了器件的短沟道效应，并改善了器件的输出特性。
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