科创中国

高新技术改造传统产业,先进制造技术

全自动晶圆探针台，是半导体（包括集成电路、分立器件、光电器件、传感器）行业重要的检测装备之一，用于晶圆加工之后、封装工艺之前的晶圆测试环节，负责晶圆的输送与定位，使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。经过检测，探针台将参数特性不符合要求的芯片记录下来，在进入后序工序前予以剔除，从而大幅度降低器件的制造成本。 全自动探针台规模 目前属于卖方市场，市场规模每年8-11亿美金，每年预计增长40%，目前是非常好的切入机会。

能达到国际一流水平。 1）运动控制精度高。本公司项目技术有着丰富的探针台设计和生产制造技术，采用步进闭环驱动控制和直线电机综合解决方案，综合高精度运动平台和图像视觉对位技术，可以做到运动精度1um以内，重复精度0.5um分辨率0.1um。 2）采用防振平台机构，噪声小，设备稳定。 3）光学和图像处理综合解决方案经验和算法丰富，各种控制对位精度高。 4）设备系统功能完善。 5）机构优势：全闭环高精度工作台在整个200 mm区域内可实现正负1 um（包括正交精度）的定位精度，正负0.5 um的可重复性，以及卡盘顶部高度波动小于或等于10 um。 （选择TDS选项时，高度波动正负1um或更小）。 支持与50um或更小的PAD稳定接触。 平台部件使用低热膨胀材料，因此即使安装了高温卡盘，对定位精度的影响也很小。 高性能空气弹簧型隔振台安装在机器底座（花岗岩面板）下方。 它可以阻止干扰（振动）并减少由于接触不良而导致的测量误差。 配备小容量的屏蔽室，可以通过净化室中的CDA（干净的干燥空气）和氮气来创建具有低露点和低氧气浓度的测量气氛环境。

2000年至2004年在中国软件与技术服务股份有限公司担任软件部工程师 2007年至2011年在北京现代中欧管理研究院总经理合伙人 2011年至2018年在天智通达信息技术有限公司担任运营总监兼开发经理 2018年至2020年在深圳市璐克斯产业互联网有限公司担任副总裁 2020年至今担任立川（深圳）智能科技设备有限公司运营总监兼开发部主管