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一种光电二极管型激光功率计及其制备方法
发布时间: 2023-09-27
基本信息
合作方式：
技术服务
成果类型：
发明专利
行业领域：
物理
成果介绍
本申请实施例涉及半导体器件技术领域，特别涉及一种光电二极管型激光功率计及其制备方法，该光电二极管型激光功率计包括：衬底以及依次叠设在衬底上的底电极阵列结构、吸收层、顶电极阵列结构；底电极阵列结构包括多个沿第一方向依次排布的底电极阵列条，相邻的底电极阵列条之间存在第一间距；顶电极阵列结构包括多个沿第二方向依次排布的顶电极阵列条，相邻的顶电极阵列条之间存在第二间距；第一方向为底电极阵列条的宽度方向，第二方向为顶电极阵列条的宽度方向；第二方向与第一方向相垂直。本申请实施例通过底电极阵列结构和顶电极阵列结构的排布设计，使得无需再像元上引出电极，实现激光功率计的多功能探测，提高了探测精度。
成果亮点
1.一种光电二极管型激光功率计，其特征在于，包括：
衬底以及依次叠设在所述衬底上的底电极阵列结构、吸收层、顶电极阵列结构；
所述底电极阵列结构包括多个沿第一方向依次排布的底电极阵列条，相邻的底电极阵列条之间存在第一间距；
所述顶电极阵列结构包括多个沿第二方向依次排布的顶电极阵列条，相邻的顶电极阵列条之间存在第二间距；
所述第一方向为所述底电极阵列条的宽度方向，所述第二方向为所述顶电极阵列条的宽度方向；所述第二方向与所述第一方向相垂直。
2.根据权利要求1所述的光电二极管型激光功率计，其特征在于，所述吸收层的材料为铜基薄膜化合物半导体材料。
3.根据权利要求2所述的光电二极管型激光功率计，其特征在于，所述吸收层的材料为Cu2CdxZn1-xSnSe4。
4.根据权利要求1所述的光电二极管型激光功率计，其特征在于，所述底电极阵列条的宽度与所述顶电极阵列条的宽度相等。
5.根据权利要求4所述的光电二极管型激光功率计，其特征在于，所述第一间距的宽度与所述第二间距的宽度相等。
团队介绍
中国科学院深圳先进技术研究院提升了粤港地区及我国先进制造业和现代服务业的自主创新能力，推动我国自主知识产权新工业的建立，成为国际一流的工业研究院。 深圳先进院目前已初步构建了以科研为主的集科研、教育、产业、资本为一体的微型协同创新生态系统，由九个研究平台，国科大深圳先进技术学院，多个特色产业育成基地、多支产业发展基金、多个具有独立法人资质的新型专业科研机构等组成。开展先进技术研究，促进科技发展。信息、电子、通讯技术研究新材料、新能源技术研究高性能计算、自动化、精密机械研究生物医学与医疗仪器研究相关学历教育、博士后培养与学术交流。
成果资料
产业化落地方案
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