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一种具有高效蒸镀工作装置的OLED蒸镀设备
发布时间: 2023-09-25
基本信息
合作方式：
技术服务
成果类型：
实用新型专利
行业领域：
电子信息技术,新型电子元器件
成果介绍
一种具有高效蒸镀工作装置的OLED蒸镀设备，包括沿水平方向前后分别设置的蒸镀工作装置和OLED基板送入装置，所述蒸镀工作装置具有可前后移动的底座，在底座上沿水平方向呈一字型依次设有限位密封环、装配环、分隔环。本发明利用了离心的原理和空心轴电机结构的优点，改变原有的对基本平铺式排布的设计，变为环形筒状的排布，使得单个真空腔室内可以容纳更多的OLED基板，同时通过OLED基板的旋转产生类似于离心的作用，使得真空腔室内的蒸镀材料分子撞击基板的力度显著提升，在生产效率增加的同时还能够提升镀膜的均匀程度，整体结构密闭性好，降低污染的泄露。
成果亮点
本发明结构简单，巧妙的利用了离心的原理和空心轴电机结构的优点，改变原有的对基本平铺式排布的设计，变为环形筒状的排布，使得单个真空腔室内可以容纳更多的OLED基板，同时通过OLED基板的旋转产生类似于离心的作用，使得真空腔室内的蒸镀材料分子撞击基板的力度显著提升，在生产效率增加的同时还能够提升镀膜的均匀程度，为了适应全自动化生产线的设计，才有前、后分离式的设计，在需要更换蒸镀源时，从前端面板直接取出更换，再蒸镀完成后取拿基板时，从空心轴电机的内腔中退出，辅以各类机械手臂，能够极大的提升生产效率，整体结构密闭性好，抽真空位置、电源接入位置、蒸镀源更换位置和基板的取出均能够体现结构的优越性，降低污染的泄露。
团队介绍
寰采星科技（宁波）有限公司成立于2019年3月21日，是国内首家AMOLED半导体显示蒸镀用精细金属掩膜版（FMM）产业化及工艺技术综合解决方案供应商。公司创始团队来自于全球半导体显示行业领军级运营团队和全球领先的金属掩膜版核心技术团队。
成果资料
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