一种FMM的搬运装置

一种FMM的搬运装置，包括搬运主体、固定于搬运主体两端的接触式吸盘以及固定于搬运主体上的非接触式吸盘，接触式吸盘和非接触式吸盘朝向一致，接触式吸盘和非接触式吸盘顶部均固定有气嘴，非接触式吸盘的工作面高于接触式吸盘的工作面。非接触式吸盘为气旋型非接触式吸盘。非接触式吸盘设置有若干个，且呈线性设置。与现有技术相比，本实用新型的优点在于：本实用新型采用两端接触式吸取搬运，中部非接触式吸取能够防止高精度金属掩模板发生形变，保证其拿取的便捷程度，且由于调压阀和手控阀的设置，使得真空发生器中的吸力能够调节。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：本实用新型采用两端接触式吸取搬运，中部非接触式吸取能够防止高精度金属掩模板发生形变，保证其拿取的便捷程度，且由于调压阀和手控阀的设置，使得真空发生器中的吸力能够调节。

寰采星科技（宁波）有限公司成立于2019年3月21日，是国内首家AMOLED半导体显示蒸镀用精细金属掩膜版（FMM）产业化及工艺技术综合解决方案供应商。公司创始团队来自于全球半导体显示行业领军级运营团队和全球领先的金属掩膜版核心技术团队。