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外延生长设备的气流调节结构
发布时间: 2023-09-19
基本信息
合作方式：
技术服务
成果类型：
发明专利
行业领域：
新材料技术
成果介绍
本实用新型提供一种外延生长设备的气流调节结构，所述气流调节结构呈环形管状，且具有沿轴向延伸的环壁，所述环壁不同位置具有不同的轴向延伸高度，以调控外延生长工艺中进入半导体衬底上方的气流大小。通过气流调节结构调节外延生长工艺中半导体衬底上方局部气流，进而使外延层薄膜厚度均匀性与平坦度得到优化。本实用新型中，气流调节结构与基座是相互独立的两个装置，无需调整基座，气流调节结构制造工艺简单，加工周期通常仅需基座制造一半时间，降低了设备成本。
成果亮点
本实用新型的目的在于提供一种外延生长设备的气流调节结构，以解决半导体衬底在外延工艺中外延层沉积厚度存在差异的问题。为解决上述技术问题，本实用新型提供一种外延生长设备的气流调节结构，所述气流调节结构呈环形管状，且具有沿轴向延伸的环壁，所述环壁不同位置具有不同的轴向延伸高度，以调控外延生长工艺中进入半导体衬底上方的气流大小。
团队介绍
温州科技大市场是由市科学技术局主导建设，市科技合作交流中心负责运营的促进技术成果向现实生产力转化的公共科技服务平台，目前已入驻一批技术转移、投资融资、知识产权等科技服务机构，合力打造集“展示、交易、服务、共享、交流”五位一体的技术市场体系。随着温州获批建设国家自主创新示范区，作为温州自创区建设的重要内容和支撑平台，温州科技大市场全面开启大数据支撑下的“全方位布局+多元化路径+精准化服务”的***时代，即打造“三级融合”、“五端激活”、“十方联动”全方位服务体系，畅通绿色通道、优化直达专线、搭建跨线桥梁，多元化提质优化特色品牌活动，立足大数据、信息化，引入佐创智推APP、科技成果大数据精准匹配系统、企业个性化精准服务平台，科技资源配置的市场化和科技成果的商品化、产业化。
温州科技大市场运营单位为温州市科技合作交流中心，是温州地区最早从事技术贸易、技术市场管理的科技服务机构，是温州市目前唯一一家国家级技术转移示范机构和省国家科技成果转移转化示范区首批示范单位，是浙江省和温州市首批重点科技服务机构。
成果资料
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