科创中国
一种新型跨尺度微纳精度控制与实现技术
发布时间: 2023-08-17
基本信息
合作方式：
合作开发
成果类型：
新技术
行业领域：
电子信息技术
成果介绍
突破当前传统典型的数控机床进给伺服系统结构，创新性的提出的具有自主知识产权的大行程高精度微纳运动实现技术。突破传统伺服运动实现技术以及当前现有压电（磁）微纳驱动技术，通过机电耦合与差动复合原理实现了大行程、高精度、高频响、线性微纳尺度级运动控制。克服了当前微纳运动技术存在的行程极小（仅仅几个 mm）、刚性低、非线性蠕动等致命缺陷。该技术依据不同需求，可构建极低速下的各种等级需求的均匀无爬行的精确微纳伺服位移控制系统，成本低，精度高（***~***）。
成果亮点
微纳尺度级运动控制及高精密加工、检测等技术领域。在需要大行程微位移的高精密加工行业具有良好的市场前景。可广泛用于诸如中凸变椭圆活塞、椭圆销轴、鼓形齿轮、中凸导轨、各类车/铣/磨等高端加工与检测数控装备、IC 器件制造与检测装备、纳米晶体材料可控生长设备等。在超精密及高精度机床、显微平台、IC 制造与检测、晶体材料可控生长等高端高精智能装备的广泛应用，具有颠覆性的深远意义。如果本装置在全国范围内在精密机床与检测智能装备上全面推广应用，每年可产生几亿甚至几十亿元的直接经济效益。
团队介绍
山东大学技术转移中心成立于 2014 年 6 月，是挂靠我校科学技术研究院专业从事科技成果转移转化、促进产学研合作的内设管理服务机构，设置“科技合作部”、“成果转化部”和“合同管理部”。“科技合作部”负责各类横向科研合作、产学研合作平台和项目的策划、组织和管理；产学研对接与校地、校企科技合作的组织和实施；学校各地技术转移机构的建设；学校对外科技挂职人员的推荐和管理。“成果转化部”负责制定完善成果转化政策，各类科技成果转化项目的策划和组织实施，专利等知识产权的产业化组织和实施，成果的收集、发布和管理等。“合同管理部”负责制定完善科技开发与产学研合作政策；横向科技合同和成果转化合同的审核、项目过程管理；技术转移转化合同签订咨询服务等。
成果资料
产业化落地方案
成果综合评价报告
评价单位：- (-) 评价时间：2023-10-26
刘顺
菏泽市科协
员工
综合评价
该成果技术创新性很强，且技术成熟，投资回报比较可靠，目标市场处于成长市场，但该市场很快会出现多种技术路线，产品竞争会很激烈，建议保证生产质量。该项目技术思路方向很好，未来市场空间大，值得支持推广。建议强化相应产品开发，做好其他配套实施共同推进。
总体来看该成果创新水平较强，且产业化已有相当成效，对传统行业的绿色化转型具有一定的引领作用，技术思路方向很好，符合当前政策要求，建议强化相应产品开发，加强产业链开发力度。
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