行星式旋转流化原子层沉积方法及装置

微纳米颗粒是我们日常生活中的重要组成部分。应用原子层沉积技术对初级纳米颗粒进行改性是颗粒部分技术下一步的发展方向之一。原子层沉积技术能够提供纳米尺度超薄薄膜，具有薄膜厚度、成分、形貌的高可控性，同时薄膜具有高度的均匀一致性。

本项目开发了行星流化式纳米颗粒原子尺度表面修饰的装置。改性过程依托于原子层沉积技术，通过前驱体分子在颗粒表面的自限制化学吸附完成纳米尺度的可控、均匀包覆。

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